№ | Дата |
Автор |
Заглавие |
---|
|
1999 |
Кошин, Илья Николаевич (кандидат технических наук, электротехника) |
Влияние ионно-плазменной обработки консрукционных материалов на характеристики тепловых источников оптического излучения : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.09.07 / Морд. гос. ун-т им. Н.П.Огарева |
|
2004 |
Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук) |
Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии : Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 : Защищена 13.02.04 : Утв. 13.05.04 / Петлицкий Александр Николаевич |
|
1984 |
Хитько, Валентин Иванович (кандидат технических наук ; род. 1944) |
Разработка технологического процесса геттерирования дефектов в кремниевых пластинах имплантацией ионов вольфрама и свинца : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.12.18 / Хитько Валентин Иванович ; Мин. радиотехн. ин-т |
|
1987 |
Комар, Валерий Аркадьевич (физик) |
Неконтролируемые примеси в полупроводниковых структурах на основе кремния и методы их геттерирования : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / АН БССР, Ин-т физики твердого тела и полупроводников |
|
2004 |
Гришин, Александр Геннадьевич |
Преципитация кислорода в кремнии, легированном цирконием : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Гришин Александр Геннадьевич ; [Ульяновский государственный университет] |
|
2004 |
Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук) |
Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 : 13.02.2004 / Петлицкий Александр Николаевич ; Белорус. гос. ун-т |
|
2000 |
Сорокин, Константин Викторович |
Исследование и разработка методов защиты поверхности кремниевых фотодиодов с применением ионной имплантации : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.06 / Сорокин Константин Викторович ; [Моск. гос. акад. тонкой хим. технологии им. М.В.Ломоносова] |
|
2004 |
Филимонов, Сергей Александрович |
Повышение эксплуатационных характеристик электроплазменных геттерных и эмиссионных покрытий, применяемых в производстве электровакуумных приборов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.09.10 ; 05.27.02 / Филимонов Сергей Александрович ; [Саратовский государственный технический университет] |
|
2001 |
|
Физические основы быстрой термообработки : геттерирование, отжиг ионнолегированных слоев, БТО в технологии СБИС / В. М. Анищик [и др.] |