| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2002 |
Керимов, Эльхан Адалатович |
Диффузия и фазообразование в железобериллиевых системах полученных методом ионно-плазменого осаждения : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / Керимов Эльхан Адалатович ; Нац. ядер. центр Респ. Казахстан, Ин-т ядер. физики |
|
2012 |
Мамаев, Александр Сергеевич |
Разработка ионно-плазменных методов нанесения покрытий и азотирования перспективных конструкционных материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата экономических наук : специальность 01.04.13 Электрофизика, электрофизические установки / Мамаев Александр Сергеевич ; [Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук] |
|
2013 |
Сергейченко, Надежда Владимировна |
Микроструктура и свойства тонких пленок SnO2, предназначенных для создания сенсоров восстановительных газов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Сергейченко Надежда Владимировна ; [Национальный исследовательский Томский государственный университет] |
|
2014 |
Рамазанов, Шихгасан Муфтялиевич (физика) |
Получение и исследование эпитаксиальных пленок твердых растворов (SiC)1-х (AlN)х, и поверхностно-барьерных структур на их основе : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Рамазанов Шихгасян Муфтялиевич ; [Дагестанский государственный университет] |
|
2014 |
Пронкин, Александр Артурович |
Экспериментальное исследование процесса образования тонких пленок аллотропных форм углерода и изучение их свойств : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.14 Теплофизика и теоретическая теплотехника / Пронкин Александр Артурович ; [Объединенный институт высоких температур РАН] |
|
2014 |
Мороз, Андрей Викторович |
Система комплексного контроля параметров пленок нитрида алюминия, получаемых методом магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий / Мороз Андрей Викторович ; [Поволжский государственный технологический университет] |
|
2016 |
Вашурин, Никита Сергеевич |
Фемтосекундное фотонное эхо на экситонных состояниях в тонких текстурированных пленках : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Вашурин Никита Сергеевич ; [Поволжский государственный технологический университет, г. Йошкар-Ола] |
|
2017 |
Федоров, Иван Сергеевич |
Разработка основ технологии формирования электродов тонкопленочного литий-ионного аккумулятора методом магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Федоров Иван Сергеевич ; [Ярославский государственный университет им. П. Г. Демидова] |
|
2018 |
Борисов, Евгений Вадимович |
Оптические свойства легированных эпитаксиальных слоев нитрида галлия и выращенных методом магнетронного распыления оксидов цинка и меди : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Борисов Евгений Вадимович ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Санкт-Петербургский государственный университет |
|
2018 |
Исмаилов, Данияр Валерьевич |
Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Исмаилов Данияр Валерьевич ; [Национальный исследовательский Томский политехнический университет] |
|
2018 |
Климович, Ирина Михайловна (кандидат физико-математических наук) |
Структурно-фазовые состояния и физико-механические свойства наноструктурных покрытий Ti-Al-N и Ti-Al-C-N : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Климович Ирина Михайловна ; Государственное научно-производственное объединение "Научно-производственный центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению" |
|
2021 |
Нгуен Динь Туен (кандидат технических наук, радиоэлектроника) |
Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Нгуен Динь Туен ; научный руководитель Голосов Д. А. ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2012 |
Рудов, Федор Валентинович |
Электрические и газочувствительные характеристики полупроводниковых сенсоров диоксида азота на основе тонких пленок WO3 : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Рудов Федор Валентинович ; [Национальный исследовательский Томский государственный университет] |
|
2015 |
Сошина, Татьяна Олеговна |
Разработка многослойных пленок на основе чередующихся по составу и строению слоев нитридов титана и алюминия с градиентом функциональных свойств : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.16.09 Материаловедение / Сошина Татьяна Олеговна ; [Пермский национальный исследовательский университет] |
|
2016 |
Оскирко, Владимир Олегович |
Импульсный биполярный источник питания для магнетронных распылительных систем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.09.12 Силовая электроника / Оскирко Владимир Олегович ; [Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники] |
|
2016 |
Банникова, Наталья Сергеевна (кандидат физико-математических наук) |
Структурные, магнитные и магнитотранспортные свойства сверхрешеток на основе меди и сплавов 3-d металлов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.11 Физика магнитных явлений / Банникова Наталья Сергеевна ; [Институт физики металлов им. М. Н. Михеева] |
|
2018 |
Тихий, Александр Александрович |
Оптические и резистивные свойства нестехиометрических магнитных пленок на основе манганит-лантановых соединений : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Тихий Александр Александрович ; Министерство образования и науки Донецкой Народной Республики, Государственное учреждение "Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина", Министерство образования и науки Луганской Народной Республики, Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Луганский национальный университет им. Тараса Шевченко" |
|
2020 |
Вилья Пинеда, Номар Альберто (кандидат технических наук) |
Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Вилья Пинеда Номар Альберто ; научный руководитель Голосов Д. А. ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2021 |
Нгуен Динь Туен (кандидат технических наук, радиоэлектроника) |
Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Нгуен Динь Туен ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2023 |
Теджетов, Валентин Алексеевич |
Развитие физико-химической концепции формирования фазового состояния и структуры пленок FeZrN и FeTiB с особыми магнитными свойствами : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 1.3.8 (01.04.07) Физика конденсированного состояния / Теджетов Валентин Алексеевич ; [место защиты: Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова Российской академии наук (ИМЕТ РАН)] |
|
2006 |
Интюшин, Евгений Борисович |
Получение пленок вольфрам-теллуритного стекла методом ВЧ-магнетронного распыления и исследование их оптических свойств : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.01 / Интюшин Евгений Борисович ; [Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского] |
|
2003 |
Mattox, Donald M. |
The foundations of vacuum coating technology : [a concise look at the discoveries, inventions, and people behind vacuum coating, past and present] / Donald M. Mattox |
|
2011 |
Пинаев, Вячеслав Владимирович |
Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / Пинаев Вячеслав Владимирович ; [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)] |
|
2012 |
Береговский, Владимир Васильевич (кандидат технических наук) |
Физико-технологические аспекты нанесения защитных многокомпонентных покрытий магнетронным распылением на детали газотурбинных установок : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.02.10 Сварка, родственные процессы и технологии / Береговский Владимир Васильевич ; [Центральный научно-исследовательский институт технологии машиностроения ОАО НПО "ЦНИИТМАШ"] |
|
2016 |
Евщик, Елизавета Юрьевна |
Анодные материалы на основе кремния для литий-ионных аккумуляторов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.04 Физическая химия / Евщик Елизавета Юрьевна ; [Институт проблем химической физики РАН] |
|
2019 |
Пучнина, Светлана Викторовна |
Исследование и разработка технологии пайки сапфира с металлами для газоразрядных источников излучения оптико-электронных систем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Пучнина Светлана Викторовна ; [Филиал АО "Стелла-К"] |
|
2017 |
Шагинян, Л. Р. |
The mechanisms of formation of thin films and coatings deposited by physical vapor deposition technology : Механізми формування тонких плівок та покриттів, отриманих різними методами фізичного осадження / L. R. Shaginyan ; National Academy of Sciences of Ukraine, I. N. Franzevich Institute for Problems of Materials Science |
|
2001 |
Шарин, Андрей Геннадьевич |
Получение и исследование керамических структур для приборов метрологии : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.06 / Шарин Андрей Геннадьевич ; [Моск. гос. ин-т электрон. техники (МИЭТ)] |
|
2012 |
Сергеев, Александр Евгеньевич |
Моделирование технологического процесса магнетронного распыления, обеспечивающего заданные физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий металлорежущего инструмента : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.02.07 Технология и оборудование механической и физико-технической обработки / Сергеев Александр Евгеньевич ; [Рыбинский государственный авиационный технический университет им. П. А. Соловьева] |
|
2015 |
Морозова, Александра Александровна |
Технология осаждения пленок оксида вольфрама методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Морозова Александра Александровна ; [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)] |
|
2016 |
|
Структура и фазовый состав тонких пленок диоксида титана, нанесенных на поверхность металлизированных трековых мембран из полиэтилентерефталата методом реактивного магнетронного напыления / О. В. Артошина [и др.] |
|
2017 |
Иванова, Анна Александровна (физик) |
Закономерности формирования текстуры и микроструктуры покрытий на основе гидроксиапатита при осаждении методом высокочастотного магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Иванова Анна Александровна ; [Национальный исследовательский Томский политехнический университет] |
|
2017 |
Свалов, Андрей Владимирович (доктор физико-математических наук) |
Влияние размерного и структурного факторов на магнетизм многослойных пленок на основе 3d- и 4f-металлов : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 01.04.11 Физика магнитных явлений / Свалов Андрей Владимирович ; [Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б. Н. Ельцина] |
|
2017 |
Пустовалова, Алла Александровна (кандидат физико-математических наук) |
Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких пленок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Пустовалова Алла Александровна ; [Национальный исследовательский Томский политехнический университет] |
|
2018 |
Иванов, Аркадий Анатольевич (доктор технических наук) |
Многослойные нанокомпозитные сегнетоэлектрические пленки в устройствах СВЧ : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 05.12.07 Антенны, СВЧ-устройства и их технологии / Иванов Аркадий Анатольевич ; [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)] |
|
2019 |
Мельников, Сергей Николаевич (кандидат технических наук) |
Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Мельников Сергей Николаевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2020 |
Шашин, Дмитрий Евгеньевич |
Разработка технологии изготовления фотодиэлектрического чувствительного элемента ультрафиолетового излучения на основе оксида цинка : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.11.14 Технология приборостроения / Шашин Дмитрий Евгеньевич ; [Поволжский государственный технологический университет] |
|
2020 |
Посылкина, Ольга Ивановна (кандидат технических наук, технология машиностроения ; род. 1988) |
Технологии формирования покрытий системы Ti-Al-N вакуумно-плазменными методами на изделиях из твердых сплавов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.02.07 Технология и оборудование механической и физико-технической обработки / Посылкина Ольга Ивановна ; Государственное научное учреждение "Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси" |
|
2020 |
Климова, Мария Андреевна |
Исследование и разработка батарей водород-воздушных топливных элементов с протонообменной мембраной и открытым катодом : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 02.00.05 Электрохимия / Климова Мария Андреевна ; [Национальный исследовательский университет "МЭИ"] |
|
2000 |
Базовой, Борис Павлович |
Синтез, структура и фазовый состав пленок CuInSe2 : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / Базовой Борис Павлович ; [Воронеж. гос. техн. ун-т] |
|
1993 |
|
Тонкие пленки в электронике : материалы IV Межрегионального совещания / [ответственный научный редактор А. Ф. Белянин] |
|
1979 |
Орлинов, Виктор И. (физика) |
Нанесение тонких окисных пленок реактивным распылением на постоянном токе для некоторых применений в микролектронике / В. Орлинов, Б. Горанчев |
|
2012 |
Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук) |
Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Колос Владимир Владимирович ; научный руководитель Маркевич М. И. ; Белорусский государственный университет, Открытое акционерное общество "ИНТЕГРАЛ" |
|
2013 |
Донцов, Алексей Игоревич (кандидат физико-математических наук) |
Структура и свойства фольги сплавов Pd-Cu и Pd-Ru, полученной методом магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Донцов Алексей Игоревич ; [Воронежский государственный университет] |
|
2015 |
Лобанов, Михаил Викторович |
Структура и свойства тонкопленочного диоксида титана модифицированного ниобием, индием и оловом : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.21 Химия твердого тела / Лобанов Михаил Викторович ; [Воронежский государственный университет] |
|
2020 |
У Вэньбинь (кандидат физико-математических наук ; род. 1987) |
Магнитные и магниторезистивные свойства многослойных пленок Co/Pd, [Co/Pd]/IrMn и IrMn/[Co/Pd] : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / У Вэньбинь ; научный руководитель Федотова Ю. А. ; Белорусский государственный университет |
|
2020 |
Бойцова, Елена Львовна (химическая технология) |
Синтез и свойства покрытий на основе титана, осажденных в плазме магнетронного разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.17.02 Технология редких, рассеянных и радиоактивных элементов / Бойцова Елена Львовна ; [Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ФГАОУ ВО НИ ТПУ)] |
|
2023 |
Иванов, Николай Андреевич (порошковая металлургия) |
Исследование и разработка многослойных композитных покрытий Ta/W, напыленных системой инвертированных магнетронов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 2.6.5 Порошковая металлургия и композиционные материалы / Иванов Николай Андреевич ; [место защиты: Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)] |
|
2012 |
Моисеев, Константин Михайлович |
Управление рельефом поверхности самоупорядоченных глобулярных микроструктур для изделий электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Моисеев Константин Михайлович ; [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана] |
|
2012 |
Шанин, Сергей Александрович |
Моделирование формирования состава покрытия при осаждении из плазмы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.14 Теплофизика и теоретическая теплотехника / Шанин Сергей Александрович ; [Национальный исследовательский Томский политехнический университет] |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ