| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2012 |
Рабинович, Олег Игоревич |
Основы технологии электронной компонентной базы. Моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов : учебно-методическое пособие / О. И. Рабинович, Д. Г. Крутогин, В. А. Евсеев ; Министерство образования и науки РФ, Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Кафедра технологии материалов электроники |
|
2012 |
|
Advanced metallizations in microelectronics : symposium held April 16-20, 1990, San Francisco, California, USA / Materials Research Society ; editors: Avishay Katz, Shyam P. Murarka, Ami Appelbaum |
|
2006 |
Васюков, Александр Всеволодович (кандидат технических наук) |
Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 : 07.12.2006 / Васюков Александр Всеволодович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2009 |
Хатько, Вячеслав Владимирович (доктор физико-математических наук) |
Структуры металл-диоксид кремния-полупроводник для интегральных микросхем : монография / В. В. Хатько |
|
1997 |
|
Simulation of impurity diffusion near the polysilicon-silicon interface / [Auth.]:O.I.Velichko,F.F.Komarov,N.M.Lukanov,A.N.Muchinskii,V.A.Tsurko |
|
2002 |
Анищик, Виктор Михайлович (доктор физико-математических наук ; род. 1945) |
Физические основы быстрой термообработки : Отжиг поликристаллич.кремния,диэлектрич.пленок,очистка поверхности и эпитаксия: [Моногр.] |
|
2010 |
Козин, Кирилл Андреевич |
Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремния ФГУП "ГХК" : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.13.06 / Козин Кирилл Андреевич ; [Национальный исследовательский "Томский политехнический университет"] |
|
2009 |
Турцевич, Аркадий Степанович (доктор технических наук ; род. 1958) |
Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники : диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.01 : защищена 23.04.10 : утверждена 22.12.10 / Турцевич Аркадий Степанович ; научный руководитель Емельянов Виктор Андреевич ; УП "Завод транзистор", Научно-производственное объединение "Интеграл" |
|
2013 |
Воротынцев, Андрей Владимирович (кандидат химических наук) |
Каталитическое восстановление хлоридов кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.04 Физическая химия / Воротынцев Андрей Владимирович ; [Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева] |
|
2022 |
Наливайко, Олег Юрьевич (кандидат технических наук, электроника) |
Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Наливайко Олег Юрьевич ; научный руководитель Турцевич Аркадий Степанович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
1996 |
Касимова, Фарида Фуад Кызы |
Микроэлектронные магнито- и газочувствительные элементы на основе пленок поликристаллического кремния : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.01 / Азерб. нац. аэрокосмич. агентство |
|
1992 |
Борисенко, Виктор Евгеньевич (доктор физико-математических наук, физик ; род. 1951) |
Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве / В. Е. Борисенко ; под ред. В. А. Лабунова |
|
2014 |
Сухова, Анна Валерьевна |
Разработка промышленной технологической схемы синтеза трихлорсилана : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.17.01 Технология неорганических веществ / Сухова Анна Валерьевна ; [Институт по проектированию производств органического синтеза ООО "Гипросинтез"] |
|
2014 |
Новак, Андрей Викторович (кандидат технических наук) |
Исследование и разработка процесса формирования пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами для конденсатора с повышенной емкостью : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Новак Андрей Викторович ; [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"] |
|
2018 |
Кадыров, Абдулахат Лакимович (кандидат физико-математических наук) |
Электрофизические свойства преобразователей солнечной и тепловой энергии на основе вторичного литого поликристаллического кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Кадыров Абдулахат Лакимович ; [ГОУ "Худжандский государственный университет имени академика Бободжона Гафурова"] |
|
2022 |
Наливайко, Олег Юрьевич (кандидат технических наук, электроника) |
Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Наливайко Олег Юрьевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2003 |
|
Handbook of photovoltaic science and engineering / Ed. by A.Luque a. S.Hegedus |
|
2012 |
Скрябин, Андрей Станиславович |
Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.14 Теплофизика и теоретическая теплотехника / Скрябин Андрей Станиславович ; [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана] |
|
2010 |
Турцевич, Аркадий Степанович (доктор технических наук ; род. 1958) |
Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.01 / Турцевич Аркадий Степанович ; Государственное научное учреждение "Институт физики им. Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси" |
|
2012 |
Горюнов, Алексей Германович (кандидат технических наук ; род. 1979) |
Разработка и внедрение систем автоматического управления процессами аффинажных и конверсионных производств на предприятиях атомной промышленности : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 05.13.06 Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами / Горюнов Алексей Германович ; [Национальный исследовательский Томский политехнический университет] |
|
2006 |
Васюков, Александр Всеволодович (кандидат технических наук) |
Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 : защищена 07.12.06 : утверждена 28.02.07 / Васюков Александр Всеволодович ; научный руководитель А. П. Достанко ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2013 |
Пещерова, Светлана Михайловна |
Особенности формирования микроструктуры мультикремния, выращенного из рафинированного металлургического кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Пещерова Светлана Михайловна ; [Институт геохимии им. А. П. Виноградова Сибирского отделения Российской академии наук (ИГХ СО РАН)] |
|
1993 |
Диухе, Диалло Амаду |
Автоматизированная система для бесконтактного контроля электрофизических параметров полупроводников и исследование процессов рекомбинации носителей заряда в поликремнии : Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук:(01.04.10) / Бел.гос.ун-т |
|
1993 |
Боуба, Али Ибрагим (кандидат физико-математических наук) |
Исследование рекомбинационных параметров поликристаллического кремния для солнечных батарей : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков / Али Ибрагим Боуба ; Белорусский государственный университет |
|
1998 |
Васильев, Александр Михайлович |
Термические способы получения кремния и его соединений из рисовой лузги и её гидролизного лигнина : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук : 02.00.01 / Куб. гос. ун-т |
|
2018 |
Сидиков, Васиджан Тургунович |
Особенности структуры и физических свойств вторичного литого поликристаллического кремния и его n+-p структур при внешних воздействиях : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Сидиков Васиджан Тургунович ; [Худжанский государственный университет им. Б. Гафурова] |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ