| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
1979 |
|
Взаимодействие плазмы с поверхностью : тезисы докладов научного семинара (г. Минск, 15―16 ноября 1979 г.) / [редколлегия: И. Г. Некрашевич и др.] |
|
2010 |
Галперин, Вячеслав Александрович (кандидат технических наук ; род. 1954) |
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова |
|
2011 |
Дунаев, Александр Валерьевич |
Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.04 / Дунаев Александр Валерьевич ; [ГОУ ВПО "Ивановский государственный химико-технологический университет"] |
|
2013 |
Ефремов, Александр Михайлович (доктор химических наук) |
Неравновесная плазма хлора : свойства и применение / А. М. Ефремов, В. И. Светцов |
|
2015 |
Галперин, Вячеслав Александрович (кандидат технических наук ; род. 1954) |
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под редакцией, [предисловие] С. П. Тимошенкова |
|
1985 |
Туромша, Евгений Петрович (кандидат физико-математических наук) |
Спектрально-кинетические исследования карбонилсодержащих маскирующих материалов в реакциях взаимодействия с потоками заряженных и нейтральных частиц : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Туромша Евгений Петрович ; Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина |
|
2008 |
Решетникова, Светлана Николаевна |
Применение нанопорошков химических соединений для повышения физико-механических характеристик изделий машиностроения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.02.08 / Решетникова Светлана Николаевна ; [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский государственный аэрокосмический университет им. М. Ф. Решетникова", Институт вычислительного моделирования СО РАН, г. Красноярск] |
|
2009 |
Хатько, Вячеслав Владимирович (доктор физико-математических наук) |
Структуры металл-диоксид кремния-полупроводник для интегральных микросхем : монография / В. В. Хатько |
|
2011 |
Гуляев, Вячеслав Валентинович |
Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3 : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.01 / Гуляев Вячеслав Валентинович ; [ГОУ ВПО "Воронежский государственный университет"] |
|
2021 |
Голованов, Антон Владимирович |
Травление планарных структур "алмаз-металл" и "алмаз-диэлектрик" высокочастотным газовым разрядом низкого давления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Голованов Антон Владимирович ; [Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов] |
|
2010 |
Колпаков, Всеволод Анатольевич (доктор физико-математических наук ; род. 1978) |
Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : 01.04.01 / Колпаков Всеволод Анатольевич ; [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева", Учреждение Российской академии наук Институт систем обработки изображений РАН] |
|
2012 |
Песков, Вадим Вячеславович |
Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.04 Физическая электроника / Песков Вадим Вячеславович ; [Фрязинский филиал, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН] |
|
2012 |
Капинос, Сергей Павлович |
Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.04 Физическая химия / Капинос Сергей Павлович ; [Ивановский государственный химико-технологический университет] |
|
2019 |
Абдуллаев, Даниил Анатольевич |
Вакуумно-плазменное травление тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца и структур на их основе : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Абдуллаев Даниил Анатольевич ; [МИРЭА –оссийский технологический университет] |
|
2020 |
Ясюнас, Александр Алексеевич (кандидат технических наук ; род. 1985) |
Технология и особенности построения оборудования для формирования наноструктурированных гидрофобных и износостойких оптических покрытий для видимого спектрального диапазона : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы (в материаловедении) / Ясюнас Александр Алексеевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2020 |
Филиппов, Иван Андреевич |
Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных СВЧ транзисторов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.04 Физическая электроника / Филиппов Иван Андреевич ; [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Национальный исследовательский Томский государственный университет] |
|
1993 |
Нам Чанг Сон (кандидат физико-математических наук, физик) |
Исследование влияния структурного совершенства и физико-химических обработок поверхности кремния на характеристики силовых диодов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков / Нам Чанг Сон ; Академия наук Беларуси, Институт физики твердого тела и полупроводников |
|
2010 |
Королев, Михаил Александрович (доктор технических наук) |
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 (200100) "Микроэлектроника и твердотельная электроника" : [в 2 ч.] / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева ; под общей редакцией Ю. А. Чаплыгина. — Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование |
|
2012 |
Казанский, Николай Львович (доктор физико-математических наук ; кандидат технических наук ; род. 1958) |
Формирование оптического микрорельефа во внеэлектронной плазме высоковольтного газового разряда / Н. Л. Казанский, В. А. Колпаков |
|
2018 |
Андрианов, Николай Александрович |
Плазменные процессы в технологии HEMT транзисторов на основе III-нитридов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.04 Физическая электроника / Андрианов Николай Александрович ; [Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого] |
|
2020 |
Ясюнас, Александр Алексеевич (кандидат технических наук ; род. 1985) |
Технология и особенности построения оборудования для формирования наноструктурированных гидрофобных и износостойких оптических покрытий для видимого спектрального диапазона : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы (в материаловедении) / Ясюнас Александр Алексеевич ; научный руководитель Котов Дмитрий Анатольевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2002 |
Терентьев, Сергей Александрович |
Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.09.10; 05.27.01 / Терентьев Сергей Александрович ; [Сарат. отд-ние Ин-та радиотехники и электроники РАН] |
|
1977 |
|
Современные технологические процессы в микроэлектронике / Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Минский радиотехнический институт, Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры. — Ч. 1 : учебное пособие по курсу "Технология микросхем и элементов ЭВА" / [А. П. Достанко и др.] |
|
2012 |
Вернигоров, Константин Борисович |
Влияние особенностей структуры дисперсно-наполненных полиимидов на их устойчивость к воздействию высокоэнергетической кислородной плазмы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальности 02.00.11 Коллоидная химия, 02.00.04 Физическая химия / Вернигоров Константин Борисович ; Государственное учебно-научное учреждение Химический факультет Московского государственного университета им. М. В. Ломоносова |
|
1983 |
Киреев, Валерий Юрьевич (1949— ) |
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов |
|
2019 |
Овцын, Александр Андреевич |
Физико-химические закономерности процессов деструкции поликарбоната в низкотемпературной окислительной плазме : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.04 Физическая химия / Овцын Александр Андреевич ; [Ивановский государственный химико-технологический университет] |
|
2012 |
Ковальчук, Наталья Станиславовна (кандидат технических наук) |
Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханических систем и полупроводниковых приборов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Ковальчук Наталья Станиславовна ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2019 |
Осипов, Артем Арменакович |
Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Осипов Артем Арменакович ; [Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого] |
|
2002 |
Голишников, Александр Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1960) |
Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Голишников Александр Анатольевич ; [Московский государственный институт электронной техники (технический университет)] |
|
2008 |
Пивоваренок, Сергей Александрович (кандидат химических наук) |
Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с медью и алюминием : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.04 / Пивоваренок Сергей Александрович ; [ГОУ ВПО "Ивановский государственный химико-технологический университет"] |
|
2010 |
Амиров, Ильдар Искандерович |
Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Амиров Ильдар Искандерович ; [Учреждение Российской академии наук "Физико-технологический институт РАН"] |
|
2011 |
Белов, Алексей Николаевич (доктор технических наук, электроника) |
Процессы формирования наноструктур на основе пористых анодных оксидов металлов : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Белов Алексей Николаевич ; [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"] |
|
2012 |
Ануфриев, Леонид Петрович (доктор технических наук ; род. 1945) |
Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханических систем и полупроводниковых приборов : диссертацияна соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Ковальчук Наталья Станиславовна ; научный руководитель Ануфриев Л. П. ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2012 |
Ефремов, Александр Михайлович (доктор химических наук) |
Неравновесная плазма хлора: свойства и применение / А. М. Ефремов, В. И. Светцов |
|
2017 |
Володкин, Борис Олегович |
Методы создания и экспериментального исследования дифракционных оптических элементов ТГц и диапазона : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Володкин Борис Олегович ; [Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева] |
|
2020 |
|
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии : учебник для вузов / В. И. Иванов [и др.] ; под редакцией А. С. Сигова ; Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники, Томский политехнический университет |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ