| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2007 |
Емельянов, Виктор Андреевич (доктор технических наук ; род. 1948) |
Оборудование для химического осаждения из газовой фазы функциональных слоев / В. А. Емельянов, А. С. Турцевич, О. Ю. Наливайко |
|
1994 |
|
Progress in inorganic chemistry / Ed. by K. D. Karlin. Vol.41 |
|
1996 |
|
Organolanthoid chemistry: synthesis, structure, catalysis / Ed. W.A.Herrmann; With contributions by R.Anwander et al |
|
1992 |
Цирлин, Александр Михайлович |
Непрерывные неорганические волокна для композиционных материалов / А. М. Цирлин |
|
2012 |
Душик, Владимир Владимирович |
Формирование наноструктурированных карбидовольфрамовых слоев, стойких к коррозионному воздействию : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 05.17.03 Технология электрохимических процессов и защита от коррозии / Душик Владимир Владимирович ; [Институт физической химии и электрохимии им. А. Н. Фрумкина Российской академии наук] |
|
2016 |
Асташинская, Марина Валерьевна (кандидат физико-математических наук ; род. 1981) |
Структура и механические свойства Cu- и Ni-углеродных композитов, полученных плазмо-химическим осаждением : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Асташинская Марина Валерьевна ; научный руководитель Углов В. В. ; Белорусский государственный университет |
|
2018 |
Родин, Сергей Александрович |
Диффузионное легирование CVD-ZnSe ионами Cr²+ : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.04 Физическая химия / Родин Сергей Александрович ; [Институт химии высокочистых веществ им. Г. Г. Девятых РАН] |
|
2018 |
Алексеев, Андрей Михайлович |
Особенности формирования кристаллитов алмаза при химическом осаждении из газовой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Алексеев Андрей Михайлович ; Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова |
|
2007 |
Богуш, Вадим Анатольевич (кандидат технических наук ; доктор физико-математических наук ; род. 1975) |
Формирование наноструктурированных металлсодержащих покрытий осаждением из водных растворов, их свойства и применение в электронике : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Богуш Вадим Анатольевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2002 |
Ohring, Milton |
Materials science of thin films : Deposition a. structure |
|
1995 |
Smith, Donald L. |
Thin-film deposition : Principles a. practice |
|
2002 |
|
Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies : Proc. of the NATO advanced study inst. on chem. physics of thin film deposition processes for micro- a. nano-technologies, Kaunas, Lithuania, 3-14 Sept. 2001 / Ed. by Y.Pauleau |
|
2011 |
Бушуев, Вячеслав Максимович |
Технологические основы изготовления герметичных конструкций из углерод-углеродных композиционных материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.16.06 Порошковая металлургия и композиционные материалы / Бушуев Вячеслав Максимович ; [Пермский национальный исследовательский политехнический университет, Уральский научно-исследовательский институт композиционных материалов] |
|
2012 |
Волков, Роман Леонидович (кандидат физико-математических наук) |
Исследование углеродных материалов и структур с применением фокусированного ионного пучка и электронной микроскопии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Волков Роман Леонидович ; [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"] |
|
2004 |
Турцевич, Аркадий Степанович (доктор технических наук ; род. 1958) |
Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Турцевич Аркадий Степанович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2016 |
Кондратьева, Анастасия Сергеевна |
Закономерности химического осаждения слоев оксида никеля из гозовой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Кондратьева Анастасия Сергеевна ; [Санкт-Петербургский политехнический университет им. Петра Великого] |
|
2018 |
Строгова, Александра Сергеевна (кандидат технических наук, электроника) |
Получение и свойства тонких пленок с кремниевыми, германиевыми и кремний-германиевыми наноструктурами / А. С. Строгова, А. А. Ковалевский, Д. Ф. Кузнецов |
|
2022 |
Багрец, Дмитрий Александрович (кандидат технических наук ; род. 1986) |
Технологии формирования изделий стоматологического назначения из сплава Ti-50,8 ат.% Ni и стали 12Х18Н10Т с защитно-декоративными TiN покрытиями : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.02.07 Технология и оборудование механической и физико-технической обработки / Багрец Дмитрий Александрович ; Государственное научное учреждение "Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси" |
|
2023 |
Клейманов, Роман Валерьевич |
Разработка системы подачи вязких высококипящих реагентов для процессов химического осаждения из газовой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники / Клейманов Роман Валерьевич ; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
|
2007 |
Викулов, Виктор Алексеевич |
Структурные, оптические и электрофизические свойства гетероструктур со слоями нанокристаллического и пористого кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Викулов Виктор Алексеевич ; [Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН] |
|
2000 |
Сыркин, Виталий Григорьевич |
CVD-метод : Хим.парофаз.осаждение / Рос.акад.наук.Ин-т металлоорган.химии им.Г.А.Разуваева |
|
2010 |
Сомов, Олег Васильевич |
Разработка процессов осаждения из газовой фазы и устройства для получения защитных износостойких покрытий : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.16.06 / Сомов Олег Васильевич ; [Пермский государственный технический университет] |
|
2009 |
Турцевич, Аркадий Степанович (доктор технических наук ; род. 1958) |
Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники : диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.01 : защищена 23.04.10 : утверждена 22.12.10 / Турцевич Аркадий Степанович ; научный руководитель Емельянов Виктор Андреевич ; УП "Завод транзистор", Научно-производственное объединение "Интеграл" |
|
2012 |
Труханова, Екатерина Леонидовна (кандидат физико-математических наук) |
Синтез и оптические свойства твердых растворов ZnSe1-xSx, легированных хромом и кобальтом : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Труханова Екатерина Леонидовна ; научный руководитель В. И. Левченко ; Национальная академия наук Беларуси, Государственное научно-производственное объединение "Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению" |
|
2012 |
Жилинский, Валерий Викторович (кандидат химических наук ; род. 1984) |
Электрохимическая активация и физико-химические свойства углеродных наноразмерных материалов : автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата химических наук : специальность 02.00.04 Физическая химия / Жилинский Валерий Викторович ; Государственное научное учреждение "Институт общей и неорганической химии Национальной академии наук Беларуси" |
|
2012 |
Кияшко, Михаил Викторович (кандидат физико-математических наук) |
Получение наноструктурированных углеродных материалов на каталитических поверхностях CVD-методом. Экспериментальные результаты для реактора цилиндрической геометрии / М. В. Кияшко, П. С. Гринчук |
|
2018 |
Брендаков, Роман Владимирович |
Моделирование технологии фторидного передела вольфрама : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.14 Теплофизика и теоретическая теплотехника / Брендаков Роман Владимирович ; [Национальный исследовательский Томский государственный университет] |
|
2022 |
Овчинников, Евгений Витальевич (доктор технических наук, материаловедение ; род 1967) |
Электроискровые покрытия: структура, свойства, технология формирования : монография / Е. В. Овчинников ; Учреждение образования "Гродненский государственный университет им. Я. Купалы" |
|
2022 |
Наливайко, Олег Юрьевич (кандидат технических наук, электроника) |
Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Наливайко Олег Юрьевич ; научный руководитель Турцевич Аркадий Степанович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2002 |
Васильев, Владислав Юрьевич |
Процессы химического осаждения из газовой фазы и свойства фосфор- и борсиликатных стеклообразных слоев : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра хим. наук : 02.00.21 / Васильев Владислав Юрьевич ; [Ин-т физики полупроводников Сиб. отд-ния Рос. акад. наук] |
|
1990 |
Румак, Николай Владимирович (доктор технических наук ; 1941—1995) |
Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н. В. Румак, В. В. Хатько ; под редакцией В. Е. Борисенко ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт |
|
1990 |
Яшин, Константин Дмитриевич (кандидат технических наук, электроника ; 1950—2021) |
Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук в форме научного доклада : 05.27.01 / Яшин Константин Дмитриевич ; Минский радиотехнический институт |
|
2001 |
|
Molecular modeling and theory in chemical engineering / edired by A. Chakraborty |
|
2010 |
Липатов, Денис Станиславович |
Получение стекол системы Er2O3-P2O5-Al2O3-SiO2 химическим осаждением из газовой фазы для волоконных лазеров и усилителей : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.01 / Липатов Денис Станиславович ; [Учреждение Российской академии наук Институт химии высокочистых веществ РАН] |
|
2012 |
Труханова, Екатерина Леонидовна (кандидат физико-математических наук) |
Синтез и оптические свойства твердых растворов ZnSe1-xSx, легированных хромом и кобальтом : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Труханова Екатерина Леонидовна ; Национальная академия наук Беларуси, Государственное научно-производственное объединение "Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению" |
|
2012 |
Уточникова, Валентина Владимировна (кандидат химических наук) |
Химическое осаждение тонких пленок люминесцирующих ароматических карбоксилатов РЗЭ : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.01 Неорганическая химия / Уточникова Валентина Владимировна ; [Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова] |
|
2012 |
Аль-Обайди Надир Джасим Мохаммед |
Зависимость электрических и люминесцентных свойств эпитаксиальных слоев оксида цинка от условий осаждения и уровня легирования атомами галлия : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.04 Физическая электроника / Аль-Обайди Надир Джасим Мохаммед ; [Дагестанский государственный университет] |
|
1990 |
|
Нанесение упрочняющих покрытий на детали машин и инструмента способом химического осаждения из газовой фазы : аналитический обзор / ВНИИТЭМР ; [автор-составитель] Г. А. Мелкова |
|
2013 |
|
Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии : [монография] : в 3 т. / [О. Ю. Наливайко и др.] ; под редакцией А. С. Турцевича. — Т. 1 |
|
2013 |
Барышникова, Марина Владимировна |
Закономерности осаждения слоев диоксида титана из газовой фазы, содержащий тетраизопропилат титана : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Барышникова Марина Владимировна ; [Санкт-Петербургский государственный политехнический университет] |
|
2015 |
Замчий, Александр Олегович |
Синтез кремнийсодержащих структур методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.14 Теплофизика и теоретическая теплотехника / Замчий Александр Олегович ; [Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе] |
|
2016 |
Асташинская, Марина Валерьевна (кандидат физико-математических наук ; род. 1981) |
Структура и механические свойства Cu- и Ni-углеродных композитов, полученных плазмо-химическим осаждением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Асташинская Марина Валерьевна ; Белорусский государственный университет |
|
2009 |
Piszczek, Piotr |
Związki koordynacyjne srebra(I) i tytanu(IV) z ligandami karboksylanowymi jako prekursory chemicznego osadzania metalicznego srebra i ditlenku tytanu z fazy gazowej / Piotr Piszczek |
|
2022 |
Наливайко, Олег Юрьевич (кандидат технических наук, электроника) |
Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Наливайко Олег Юрьевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2023 |
Ерицян, Георгий Спартакович |
Исследование и разработка интегральной технологии формирования планарных эмиссионных приборов на основе углеродных нанотрубок на сплаве Nb-Co-N-(O) : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники / Ерицян Георгий Спартакович ; [место защиты: Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"] |
|
1983 |
Глиненко, Лариса Константиновна (физик) |
Исследование процессов формирования пористого кремния и автоэпитаксии на его поверхности : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.07 Физика твердого тела / Глиненко Лариса Константиновна ; Институт физики твердого тела и полупроводников Академии наук Белорусской ССР |
|
1994 |
|
Polymers for microelectronics: resists a. dielectrics : Developed from a symp. at the 203rd Nat. Meet. of the Amer. Chem. Soc., San Francisco, California, Apr. 5-10, 1992 / Ed.: L.F.Thompson et al |
|
2009 |
Морозова, Наталья Борисовна |
Химия летучих координационных и металлорганических соединений, используемых в процессах химического осаждения металлических и оксидных слоев из паровой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора химических наук : 02.00.01 ; 02.00.04 / Морозова Наталья Борисовна ; [Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения РАН] |
|
2011 |
Насибулин, Альберт Галийевич |
Разработка технологий получения наноразмерных порошков и углеродных нанотрубок методом химического осаждения из газовой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.16.06 / Насибулин Альберт Галийевич ; [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный политехнический университет", Аалто Университет (г. Эспоо, Финляндия) ] |
|
2010 |
|
Справочник Шпрингера по нанотехнологиям : в 3 т. / Федеральное государственное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр"" Московского государственного института электронной техники ; под редакцией Б. Бхушана ; перевод с английского под общей редакцией А. Н. Саурова. — Т. 1 |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ