| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2000 |
Грицай, Юрий Владимирович (кандидат физико-математических наук ; род. 1967) |
Процессы формирования фазовых рельефов в полимерных слоях, содержащих фотодимеризующиеся производные антрацена : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 01.04.05 / Бел. гос. ун-т |
|
2002 |
Прудник, Александр Михайлович (род. 1973) |
Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок : Автореф.дис.... канд.техн.наук:05.27.01 / А.М.Прудник;Бел.гос.ун-т информатики и радиоэлектронники |
|
2014 |
Зайцев, Алексей Александрович |
Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с примененением технологии наноимпринт-литографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Зайцев Алексей Александрович ; [Национальный исследовательский университет «МИЭТ»] |
|
2017 |
|
Nanoelectronics : materials, devices, applications / edited by Robert Puers [et al.]. — Vol. 1 |
|
2008 |
Скорб, Екатерина Владимировна (кандидат химических наук) |
Фотокаталитические и фотолитографические системы на основе пленок наноструктурированного диоксида титана, модифицированного металлическими и биметаллическими частицами : диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.04 : защищена 18.11.08 : утверждена 17.12.08 / Скорб Екатерина Владимировна ; научный руководитель Свиридов Д. В. ; Белорусский государственный университет |
|
2004 |
|
Polymers and light / [ed. T. Lippert] ; with contributions by S.Georgiou [et al.] |
|
2003 |
|
Synchrotron radiation: fundamentals, methodologies and applications = I fondamenti, le metodologie sperimentali e le applicazioni della luce di sincrotrone, S. Margherita di Pula, 17-28 September 2001 / ed. by S. Mobilo a. G. Vlaic |
|
1985 |
Тилл, Уильям |
Интегральные схемы : материалы, приборы, изготовление : перевод с английского / У. Тилл, Дж. Лаксон |
|
1993 |
|
Государственный научно-производственный концерн точного машиностроения "Планар" |
|
2014 |
Булгакова, Вера Геннадьевна |
Исследование процессов формирования малоразмерных и объемных полимерных элементов в фотоотверждаемых композиционных материалах : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Булгакова Вера Геннадьевна ; [Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики] |
|
2018 |
Колегов, Константин Сергеевич (кандидат физико-математических наук) |
Моделирование массопереноса в капельно-пленочных системах с использованием регуляризованной разностной схемы в испарительной литографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ / Колегов Константин Сергеевич ; [Астраханский государственный университет] |
|
2018 |
Мартынов, Валерий Владимирович (доктор технических наук) |
Технология сверхбольших интегральных схем и оптико–механическое оборудование для микро– и наноэлектроники / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий ; Национальная академия наук Беларуси |
|
2006 |
Цветков, Юрий Борисович (доктор технических наук) |
Основы управления топологической точностью микролитографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.06 / Цветков Юрий Борисович ; [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана] |
|
2008 |
Скорб, Екатерина Владимировна (кандидат химических наук) |
Фотокаталитические и фотолитографические системы на основе пленок наноструктурированного диоксида титана, модифицированного металлическими и биметаллическими частицами : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.04 / Скорб Екатерина Владимировна ; Белорусский государственный университет |
|
1981 |
Глазков, Илья Михайлович (доктор технических наук ; 1922—1996) |
Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем / И. М. Глазков, Я. А. Райхман ; редактор Э. И. Точицкий |
|
2002 |
Лыньков, Леонид Михайлович (доктор технических наук ; род. 1949) |
Микроструктуры на основе анодной алюмооксидной технологии : монография / Л. М. Лыньков, Н. И. Мухуров |
|
1998 |
Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника) |
Литография в производстве интегральных микросхем : Учеб.пособие для ПТУ |
|
2008 |
|
Nanofabrication : fundamentals and applications / ed. Ampere A. Tseng |
|
1950-1960 |
Ершов, Борис Георгиевич (род. 1917) |
Каблуков Иван Алексеевич (18571942) [Изоматериал] : [эстамп] / автолитография художника Ершова Б. Г |
|
1992 |
Минский научно-исследовательский приборостроительный институт |
Стереолитография. SLA - это "ноу-хау" компьютерной техники |
|
2000 |
Грицай, Юрий Владимирович (кандидат физико-математических наук ; род. 1967) |
Процессы формирования фазовых рельефов в полимерных слоях, содержащих фотодимеризующиеся производные антрацена : Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 01.04.05 : 24.03.2000 : 17.05.2000 / Бел. гос. ун-т |
|
1994 |
|
Polymeric materials for microelectronic applications: science and technology : Developed from a symp. of the Amer. Chem. Soc., at the polymers for microelectronics 1993 Meet., Kawasaki, Japan, Nov. 15-19, 1993 / Ed.: H. Ito et al |
|
2005 |
|
Microlithography. Molecular imprinting / with contributions by H. Ito, J.D. Marty, M. Mauzak |
|
1985 |
Броудай, Ивор |
Физические основы микротехнологии : пер. с англ. / И. Броудай, Дж. Мерей |
|
1985 |
Таруи, Ясуо |
Основы технологии сверхбольших интегральных схем : перевод с японского / Я. Таруи |
|
2011 |
Дьяченко, Павел Николаевич |
Расчет зонной структуры и формирование фотонных кристаллов и квазикристаллов на полупроводниковых и металлодиэлектрических оптических материалах : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.05 / Дьяченко Павел Николаевич ; [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева (национальный исследовательский университет)", Учреждение Российской академии наук Институт систем обработки изображения РАН] |
|
2002 |
LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH |
LEICA MICROSYSTEMS Новаторское оборудование и решения : Каталог |
|
2019 |
Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника) |
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / Ю. А. Родионов |
|
1994 |
|
Основы топологического проектирования интегральных микросхем : Учеб. пособие / В.В.Баринов, Т.Ю.Крупкина, В.Ф.Онацько, Л.Ю.Шишина ; Под ред. В.Ф.Онацько ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) |
|
1998 |
Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника) |
Литография в производстве интегральных микросхем : учебное пособие для профессионально-технических училищ профессии электронной техники / Ю. А. Родионов |
|
1994 |
|
Polymers for microelectronics: resists a. dielectrics : Developed from a symp. at the 203rd Nat. Meet. of the Amer. Chem. Soc., San Francisco, California, Apr. 5-10, 1992 / Ed.: L.F.Thompson et al |
|
2011 |
Гольденберг, Борис Григорьевич |
Создание LIGA-технологического комплекса на источнике синхротронного излучения ВЭПП—3 : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.01 / Гольденберг Борис Григорьевич ; [Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера Сибирского отделения РАН] |
|
2012 |
Довгяло, Дмитрий Александрович (кандидат технических наук) |
Проектирование и системы автоматизированного проектирования интегральных микросхем, микроэлектроника и микросхемотехника : учебно-методический комплекс для студентов специальностей 1-39 02 01 "Моделирование и компьютерное проектирование радиоэлектронных средств", 1-36 04 02 "Промышленная электроника" : в 2 ч. / Д. А. Довгяло ; Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Полоцкий государственный университет". — Ч. 1: Технология микроэлектронных устройств |
|
2016 |
Деревянко, Дмитрий Игоревич |
Физико-химические свойства и формирование микроструктур в гибридном фотополимерном материале на основе силоксан-тиол-акрилатных олигомеров : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.04 Физическая химия / Деревянко Дмитрий Игоревич ; [Новосибирский институт органической химии им. Н. Н. Ворожцова] |
|
1990 |
Ernst Abbe conference (1989 ; Jena) |
Proceedings of the Ernst Abbe conference, Jena 1989, 21-26.8.1989 / scientific redaction by L.Wenke |
|
1990 |
|
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : учеб. для проф.-техн. училищ : в 10 кн. — Кн. 8: Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базарова |
|
2002 |
LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH |
Новые разработки для микроэлектроники и радиотехники : Рекламный проспект |
|
2015 |
Костомаров, Павел Сергеевич |
Моделирование процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.13.12 Системы автоматизации проектирования (приборостроение) / Костомаров Павел Сергеевич ; [Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики"] |
|
2019 |
|
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для бакалавриата и магистратуры / В. И. Иванов [и др.] ; под редакцией Ю. В. Гуляева ; Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники, Томский политехнический университет |
|
2018 |
Хорин, Иван Анатольевич |
Технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / И. А. Хорин |
|
1980 |
|
Сверхбольшие интегральные схемы / С.Н.Романовский |
|
1990 |
Валиев, Камиль Ахметович |
Физика субмикронной литографии |
|
2008 |
|
Оборудование для производителей микроэлектроники / Совтест АТЕ |
|
2010 |
Родионов, Илья Анатольевич |
Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.11.14 / Родионов Илья Анатольевич ; [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана] |
|
2011 |
Макарчук, Владимир Васильевич (кандидат технических наук ; род. 1947) |
Методы литографии в наноинженерии : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия" / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков ; под редакцией В. А. Шахнова |
|
2017 |
|
Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы" / Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники ; [Ю. А. Родионов и др.] |
|
2023 |
|
Химико-технологические основы микро-и наноэлектроники : учебное пособие / [А. А. Величко и др.] ; под редакцией А. Н. Игнатова |
|
1986 |
Гурский, Валерий Борисович (электроника) |
Моделирование процессов формирования в резисте структур топологии интегральных микросхем многоканальным оптическим генератором изображений : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.07 Оборудование производства электронной техники / Гурский Валерий Борисович ; Академия наук БССР, Институт электроники АН БССР |
|
1999 |
Лыньков, Леонид Михайлович (доктор технических наук ; род. 1949) |
Субмикронная литография / Л. М. Лыньков, С. Л. Прищепа ; Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Научно-исследовательская часть |
|
2005 |
Gao, Guozhong |
Nanostructures & nanomaterials : synthesis, properties & applications / Guozhong Cao |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ