| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2012 |
Мамаев, Александр Сергеевич |
Разработка ионно-плазменных методов нанесения покрытий и азотирования перспективных конструкционных материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата экономических наук : специальность 01.04.13 Электрофизика, электрофизические установки / Мамаев Александр Сергеевич ; [Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук] |
|
2013 |
Манкелевич, Юрий Александрович (кандидат физико-математических наук) |
Плазменно и термически стимулированное осаждение алмазных пленок: многомерные модели химических реакторов : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 01.04.08 Физика плазмы / Манкелевич Юрий Александрович ; [Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельницына Московского государственного университета им. М. В. Ломоносова] |
|
2016 |
Чернов, Валерий Валерьевич |
Исследование плазмохимического синтеза тонких алмазных пленок в плазме, поддерживаемой пересекающимися пучками непрерывного СВЧ излучения миллиметрового диапазона длин волн : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.08 Физика плазмы / Чернов Валерий Валерьевич ; [Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики РАН] |
|
2016 |
Асташинская, Марина Валерьевна (кандидат физико-математических наук ; род. 1981) |
Структура и механические свойства Cu- и Ni-углеродных композитов, полученных плазмо-химическим осаждением : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Асташинская Марина Валерьевна ; научный руководитель Углов В. В. ; Белорусский государственный университет |
|
2004 |
|
Nanostructured thin films and nanodispersion strengthened coatings : [proceedings of the NATO advanced research workshop on nanostructured thin films and nanodispersion strenghtened coatings, Moscow, Russia, 8-10 December 2003] / ed. by Andrey A. Voevodin [et al.] |
|
2010 |
Степанов, Игорь Борисович |
Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 01.04.20 / Степанов Игорь Борисович ; [ГОУ ВПО "Национальный исследовательский "Томский политехнический университет"] |
|
2010 |
Шолкин, Сергей Евгеньевич |
Разработка технологии микроплазменного осаждения функциональных покрытий с элементами наноструктуры : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.16.01 / Шолкин Сергей Евгеньевич ; [ГОУ ВПО "Санкт-Петербургский государственный политехнический университет", ФГУП "Центральный научно-исследовательский институт конструкционных материалов "Прометей""] |
|
2012 |
Черников, Виталий Дмитриевич |
Повышение чувствительности электронно-эмиссионного датчика скорости осаждения веществ электронно-лучевым испарением на основе использования магнетронного эффекта : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.13.05 Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления / Черников Виталий Дмитриевич ; [Рыбинский государственный авиационный технический университет им. П. А. Соловьева] |
|
2013 |
Долганов, Матвей Александрович |
Получение и исследование наноалмазных пленок : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Долганов Матвей Александрович ; [Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова] |
|
2013 |
Титаренко, Андрей Алексеевич |
Исследование влияния условий синтеза на микроструктуру и состав пленок нанокристаллического и ультрананокристаллического алмаза : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.15 Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика / Титаренко Андрей Алексеевич ; [Северо-Кавказский федеральный университет] |
|
2022 |
Рудык, Николай Николаевич |
Разработка и исследование технологических основ формирования ориентированных массивов углеродных нанотрубок для чувствительных элементов сенсоров газа : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Рудык Николай Николаевич ; [Южный федеральный университет] |
|
2020 |
Мочалов, Леонид Александрович |
Плазмохимический синтез тонких пленок халькогенидов мышьяка и их модификация фемтосекундным лазером : учебное пособие для студентов по направлению 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" / Л. А. Мочалов, А. А. Логунов, В. М. Воротынцев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева" |
|
2001 |
Горбулин, Григорий Львович |
Фотопроводимость и плотность состояний в a-Si:H и сплавах на его основе : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.06 / Горбулин Григорий Львович ; [Моск. гос. ин-т электрон. техники] |
|
2010 |
Копылов, Петр Геннадьевич |
Исследование структурно-морфологических свойств поликристаллических углеродных пленок : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Копылов Петр Геннадьевич ; [Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова] |
|
2010 |
Барайшук, Сергей Михайлович (кандидат физико-математических наук) |
Модификация свойств поверхности графита и кремния ионно-ассистированным осаждением металлсодержащих покрытий : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Барайшук Сергей Михайлович ; Белорусский государственный университет |
|
2011 |
Пинаев, Вячеслав Владимирович |
Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / Пинаев Вячеслав Владимирович ; [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)] |
|
2012 |
Шепель, Анна Артемовна |
Фотолюминесценция CdTe, выращенного при сильном отклонении от термодинамического равновесия : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Шепель Анна Артемовна ; Федеральное государственное бюджетное учреждение наук Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук |
|
2012 |
Жилинский, Валерий Викторович (кандидат химических наук ; род. 1984) |
Электрохимическая активация и физико-химические свойства углеродных наноразмерных материалов : автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата химических наук : специальность 02.00.04 Физическая химия / Жилинский Валерий Викторович ; Государственное научное учреждение "Институт общей и неорганической химии Национальной академии наук Беларуси" |
|
2012 |
Кияшко, Михаил Викторович (кандидат физико-математических наук) |
Получение наноструктурированных углеродных материалов на каталитических поверхностях CVD-методом. Экспериментальные результаты для реактора цилиндрической геометрии / М. В. Кияшко, П. С. Гринчук |
|
2013 |
Тарала, Виталий Алексеевич (кандидат химических наук) |
Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Тарала Виталий Алексеевич ; [Южный научный центр Российской академии наук] |
|
2015 |
Ильин, Олег Игоревич (электроника) |
Разработка и исследование технологических основ формирования ориентированных массивов углеродных нанотрубок для чувствительных элементов газовых сенсоров : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Ильин Олег Игоревич ; [Южный федеральный университет] |
|
2018 |
Ануров, Алексей Евгеньевич (кандидат технических наук ; род. 1986) |
Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Ануров Алексей Евгеньевич ; [Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)] |
|
2020 |
Ясюнас, Александр Алексеевич (кандидат технических наук ; род. 1985) |
Технология и особенности построения оборудования для формирования наноструктурированных гидрофобных и износостойких оптических покрытий для видимого спектрального диапазона : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы (в материаловедении) / Ясюнас Александр Алексеевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
1983 |
Колпащиков, Виктор Леонидович (термодинамика) |
Математическое моделирование технологического процесса формирования заготовок для оптического волокна / В. Л. Колпащиков, Ю. К. Кривошеев, А. И. Шнип |
|
1990 |
Румак, Николай Владимирович (доктор технических наук ; 1941—1995) |
Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н. В. Румак, В. В. Хатько ; под редакцией В. Е. Борисенко ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт |
|
2009 |
|
Получение полимерных композитных наномембран с асимметрией проводимости / Л. И. Кравец [и др.] |
|
2011 |
Исмагилов, Ринат Рамилович |
Получение и свойства углеродных тубулярных наноструктур : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата биологических наук : 01.04.07 / Исмагилов Ринат Рамилович ; [Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова] |
|
2010 |
Королев, Михаил Александрович (доктор технических наук) |
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 (200100) "Микроэлектроника и твердотельная электроника" : [в 2 ч.] / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева ; под общей редакцией Ю. А. Чаплыгина. — Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование |
|
2014 |
Путрик, Антон Борисович |
Продукты эрозии материалов, образующих при воздействии интенсивных импульсных потоков плазмы, и захват изотопов водорода в них : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.08 Физика плазмы / Путрик Антон Борисович ; [Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований] |
|
2015 |
Семенов, Александр Вячеславович |
Технология тонкопленочных солнечных модулей большой площади на основе аморфного и микрокристаллического кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Семенов Александр Вячеславович ; [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ им. В. И. Ульянова (Ленина)"] |
|
2015 |
Орехов, Дмитрий Львович |
Разработка технологии гетероструктурных солнечных элементов на кристаллическом кремнии с использованием промышленных реакторов плазмохимического осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Орехов Дмитрий Львович ; [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ им. В. И. Ульянова (Ленина)"] |
|
2016 |
Асташинская, Марина Валерьевна (кандидат физико-математических наук ; род. 1981) |
Структура и механические свойства Cu- и Ni-углеродных композитов, полученных плазмо-химическим осаждением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Асташинская Марина Валерьевна ; Белорусский государственный университет |
|
2019 |
Гришина, Яна Сергеевна (доктор юридических наук) |
Электронно-микроскопические исследования структуры поверхностных углеродных и металлических нанообъектов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Гришина Яна Сергеевна ; [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"] |
|
2020 |
Ясюнас, Александр Алексеевич (кандидат технических наук ; род. 1985) |
Технология и особенности построения оборудования для формирования наноструктурированных гидрофобных и износостойких оптических покрытий для видимого спектрального диапазона : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы (в материаловедении) / Ясюнас Александр Алексеевич ; научный руководитель Котов Дмитрий Анатольевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
1993 |
|
Тонкие пленки в электронике : материалы IV Межрегионального совещания / [ответственный научный редактор А. Ф. Белянин] |
|
2013 |
Нагель, Михаил Юрьевич |
Моделирование формирования структур осаждаемых пленок и образования пыли в плазменных установках : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.04 Физическая электроника / Нагель Михаил Юрьевич ; Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" |
|
2014 |
Чжоу Бин (кандидат технических наук) |
Фазовый состав, структура и механические свойства двухслойных углеродсодержащих покрытий, формируемых из катодной импульсной плазмы : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Чжоу Бин ; Учреждение образования "Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины" |
|
2016 |
Крысина, Ольга Васильевна |
Генерация газометаллической плазмы в дуговых разрядах низкого давления для синтеза многокомпонентных нанокристаллических защитных покрытий : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.04 Физическая электроника / Крысина Ольга Васильевна ; [Институт сильноточной элетроники Сибирского отделения РАН] |
|
2016 |
Баранова, Лариса Васильевна |
Состав, структура и оптические свойства пленок кремния, полученных методом струйного плазмохимического осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.02.05 Механика жидкости, газа и плазмы / Баранова Лариса Васильевна ; [Омский государственныйуниверситет им. Ф. М. Достоевского] |
|
2022 |
Малыхин, Сергей Александрович |
Получение и исследование люминесцентных центров в монокристаллических алмазных иглах : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Малыхин Сергей Александрович ; Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова |
|
2000 |
Косинова, Марина Леонидовна (кандидат химических наук) |
Химическое осаждение пленок нитрида и карбонитрида бора из паров летучих соединений бора : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.04 Физическая химия / Косинова Марина Леонидовна ; [Институт неорганической химии Сибирского отделения Российской академии наук] |
|
2010 |
Эль-Шазли, Мухаммед Аббас Дурая |
Синтез и изучение некоторых физических свойств углеродных нанотрубок, полученных химическим осаждением из плазмы, индуцированной микроволновым излучением : автореферат диссертации на соискание академической степени "доктора философии" (Ph.D.) по специальности "Химическая физика процессов горения" / Эль-Шазли Мухаммед Аббас Дурая ; [Казахский национальный университет им. аль-Фараби] |
|
2011 |
|
Структура и электрохимические свойства трековых мембран, модифицированных в плазме тэтрафторэтана / Л. И. Кравец [и др.] |
|
2012 |
Шанин, Сергей Александрович |
Моделирование формирования состава покрытия при осаждении из плазмы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.14 Теплофизика и теоретическая теплотехника / Шанин Сергей Александрович ; [Национальный исследовательский Томский политехнический университет] |
|
2015 |
Мишин, Максим Валерьевич (кандидат физико-математических наук) |
Физические основы процессов образования наночастиц в ВЧ разрезе атмосферного давления : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 01.04.04 Физическая электроника / Мишин Максим Валерьевич ; [Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого] |
|
2022 |
Барков, Константин Александрович |
Атомное и электронное строение, электрические и оптические свойства композитных пленок Si-SiOx : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 1.3.11 Физика полупроводников / Барков Константин Александрович ; [Воронежский государственный университет] |
|
2000 |
Бирюков, Андрей Валерьевич |
Электрофизические свойства и природа локализованных состояний в гетеропереходах на основе a-Si:H и его сплавов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника (Микроэлектроника и наноэлектроника) / Бирюков Андрей Валерьевич ; [Московский государственый институт электроннной техники] |
|
2005 |
|
Plasma processes and polymers : [16th intern. symp. on plasma chemistry, Taormina/Italy, June 22-27, 2003] / ed. by Riccardo d'Agostino [et al.] |
|
2009 |
Барайшук, Сергей Михайлович (кандидат физико-математических наук) |
Модификация свойств поверхности графита и кремния ионно-ассистированным осаждением металлсодержащих покрытий : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 : защищена 04.06.10 : утверждена 13.10.10 / Барайшук Сергей Михайлович ; научный руководитель Ташлыков И. С. ; Учреждение образования "Белорусский государственный педагогический университет им. Максима Танка" |
|
2010 |
Завьялов, Анатолий Владимирович |
Фотоиндуцированные и релаксационные процессы в пленках оксида титана : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.01 / Завьялов Анатолий Владимирович ; [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульнова (Ленина)] |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ