| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2002 |
Шевчук, Сергей Леонидович |
Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственного из пучков ионов : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.01 / Шевчук Сергей Леонидович ; [Физ.-технол. ин-т РАН] |
|
1987 |
Барасьев, Сергей Владимирович |
Разработка низкотемпературных процессов формирования плазменных анодных окислов арсенида галлия для изготовления ИМС : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.01 : 04.06.1987 / Барасьев Сергей Владимирович ; Минский радиотехнический институт |
|
2010 |
Цвырко, Виктор Геннадьевич (кандидат физико-математических наук) |
Формирование и свойства водородсодержащих доноров в субмикронных слоях кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Цвырко Виктор Геннадьевич ; Белорусский государственный университет |
|
2010 |
Галперин, Вячеслав Александрович (кандидат технических наук ; род. 1954) |
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова |
|
2011 |
Козырев, Антон Андреевич (кандидат технических наук, электроника) |
Разработка покрытий для защиты полупроводниковых лазеров на основе AlGaAs/GaAs-гетероструктур : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.01 / Козырев Антон Андреевич ; [Саратовский государственный технический университет] |
|
2012 |
Юрасов, Дмитрий Владимирович (кандидат физико-математических наук ; род. 1985) |
Особенности образования наноостровков в многослойных SiGe гетероструктурах и метод селективного легирования SiGe структур сегрегирующими примесями : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Юрасов Дмитрий Владимирович ; [Институт физики микроструктур Российской академии наук] |
|
2013 |
Полковников, Владимир Николаевич |
Многослойные зеркала для рентгеновской астрономии и проекционной литографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.01 Приборы и методы эксприментальной физики / Полковников Владимир Николаевич ; [Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН)] |
|
2014 |
Рамазанов, Шихгасан Муфтялиевич (физика) |
Получение и исследование эпитаксиальных пленок твердых растворов (SiC)1-х (AlN)х, и поверхностно-барьерных структур на их основе : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Рамазанов Шихгасян Муфтялиевич ; [Дагестанский государственный университет] |
|
1988 |
Величко, Олег Иванович (доктор физико-математических наук, физик ; род. 1953) |
Процессы атомной диффузии при неравновесном состоянии компонентов дефектно-примесной системы кристаллов кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника / Величко Олег Иванович ; Академия наук БССР, Институт электроники АН БССР |
|
2016 |
Громов, Александр Леонидович |
Разработка и исследование технологических основ наноразмерного профилирования методом фокусированных ионных пучков для создания элементов микро- и наносистемной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Громов Александр Леонидович ; [Южный федеральный университет] |
|
2021 |
Белозеров, Олег Сергеевич |
Особенности ускорения ионов до мегаэлектронвольтных энергий на сильноточных генераторах релятивистского электронного пучка : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 1.3.9 Физика плазмы / Белозеров Олег Сергеевич ; ["Национального исследовательского центра "Курчатовский институт" (НИЦ Курчатовский институт) ] |
|
2008 |
Савенко, Алексей Юрьевич |
Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / Савенко Алексей Юрьевич ; [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)] |
|
1985 |
Туромша, Евгений Петрович (кандидат физико-математических наук) |
Спектрально-кинетические исследования карбонилсодержащих маскирующих материалов в реакциях взаимодействия с потоками заряженных и нейтральных частиц : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Туромша Евгений Петрович ; Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина |
|
2007 |
Гребнев, Олег Игоревич |
Плазменные эмиссионные системы на базе разряда низкого давления для нанесения покрытий из мелкодисперсных материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.02 / Гребнев Олег Игоревич ; [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им. В. И. Ульянова] |
|
1994 |
Лыньков, Леонид Михайлович (доктор технических наук ; род. 1949) |
Плазменные, электрохимические и термические методы создания элементов сверхпроводниковой микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, микроэлектроника / Лыньков Леонид Михайлович ; Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
|
2000 |
Исмаилов, Абубакар Магомедович |
Совершество структуры и свойства пленок оксида цинка, получаемых ионным распылением : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / Исмаилов Абубакар Магомедович ; [Дагест. гос. ун-т] |
|
2001 |
Шматок, Александр Викторович |
Получение тонких пленок легированных манганитов лантана методом магнетронного распыления. Их структурные и транспортные свойства : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / Шматок Александр Викторович ; [Моск. гос. ин-т стали и сплавов] |
|
2004 |
Болесов, Игорь Анатольевич |
Исследование и разработка технологии изготовления PIN-фотодиодов на основе кремния с применением ионной имплантации : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / Болесов Игорь Анатольевич ; [Московская государственная академия тонкой химической технологии им. М.В.Ломоносова] |
|
2005 |
Карачинов, Владимир Александрович |
Получение профилированных монокристаллов карбида кремния методами сублимации и электрической эрозии : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.06 / Карачинов Владимир Александрович ; [Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого] |
|
2006 |
Истомина, Наталья Леонидовна |
Физико-технические основы субмикрометровой дифрактометрии топологии поверхности, модифицируемой в ионно-плазменных процессах : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 01.04.04 / Истомина Наталья Леонидовна ; "МАТИ" Российский государственный технологический университет им. К.Э.Циолковского |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ