
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков Справка

Базовый поиск	Расширенный поиск	Cловари	ГРНТИ	Новые поступления	Профессионалам Поиск Экспорт данных/ Z39.50 Belmarc Методические решения

Запрос: a001a="BY-SEK-ar13503304"
Записи: 1 - 1 из 1 (стр. 1 из 1)

Сортировать по:

№	Дата	Автор	Заглавие
	2019	Осипов, Артем Арменакович	Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Осипов Артем Арменакович ; [Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого]

Служба технической поддержки:
+375 17 293 29 78
skk@nlb.by
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024
© Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси