
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков Справка

Базовый поиск	Расширенный поиск	Cловари	ГРНТИ	Новые поступления	Профессионалам Поиск Экспорт данных/ Z39.50 Belmarc Методические решения

Запрос: a001a="BY-SEK-579860"
Записи: 1 - 1 из 1 (стр. 1 из 1)

Сортировать по:

№	Дата	Автор	Заглавие
	2003	Гомжин, Иван Васильевич	Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.01 / Гомжин Иван Васильевич ; [ОАО "Науч.-исслед. ин-т полупроводникового машиностроения" (г. Воронеж)]

Служба технической поддержки:
+375 17 293 29 78
skk@nlb.by
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024
© Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси