unicat.nlb.by СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ
БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ		История поисков Справка
 
Базовый поискРасширенный поискCловариГРНТИНовые поступления
Профессионалам
ПоискЭкспорт данных/ Z39.50BelmarcМетодические решения

   Запрос: a001="u5289255"
   Записи: 1 - 1 из 1 (стр. 1 из 1)

Сортировать по: 
№Дата Автор Заглавие
2012 Кравченко, Анатолий Анатольевич (кандидат технических наук) Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Кравченко Анатолий Анатольевич ; [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"]
Записей на стр.

Служба технической поддержки:
+375 17 293 29 78
skk@nlb.by
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024
© Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси