
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков Справка

Базовый поиск	Расширенный поиск	Cловари	ГРНТИ	Новые поступления	Профессионалам Поиск Экспорт данных/ Z39.50 Belmarc Методические решения

Запрос: a001="BY-SEK-563968"
Записи: 1 - 1 из 1 (стр. 1 из 1)

Сортировать по:

№	Дата	Автор	Заглавие
	2002	Голишников, Александр Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1960)	Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.01 / Голишников Александр Анатольевич ; [Моск. гос. ин-т электрон. техники]

Служба технической поддержки:
+375 17 293 29 78
skk@nlb.by
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024
© Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси