| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2005 |
Коробко, Юлия Олеговна (кандидат технических наук, электроника) |
Формирование субмикронных кмоп структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : защищена 17.03.05 : утверждена 18.05.05 : 05.27.01 / Коробко Юлия Олеговна |
|
1982 |
Погоцкий, Эдуард Иосифович |
Исследование и разработка новых технологических методов получения фотошаблонов с пониженной дефектностью для больших интегральных схем : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.12.18 / Погоцкий Эдуард Иосифович ; Мин. радиотехн. ин-т |
|
1993 |
|
Отсчетные устройства в планшетном лазерном фотопостроителе растрового типа / А.М.Буфан, А.А.Иванов, А.Ан.Иванов и др |
|
1998 |
Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника) |
Литография в производстве интегральных микросхем : Учеб. пособие для учащихся проф.-техн. училищ профессии электрон. техники |
|
2004 |
|
Handbook of laser technology and applications : [in 3 vol.] / ed. by Colin E. Webb a. Julian D.C. Jones. — Vol. 3: Applications |
|
2011 |
Никаноров, Олег Викторович |
Синтезированные голограммы-проекторы Френеля для фотолитографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.11.07 / Никаноров Олег Викторович ; Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики |
|
2012 |
Качалов, Денис Георгиевич |
Расчет дифракционных оптических элементов, формирующих аксиальные световые распределения в задаче оптического захвата : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Качалов Денис Георгиевич ; [Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева (национальный исследовательский университет)] |
|
2013 |
Корольков, Виктор Павлович (доктор технических наук) |
Лазерные литографические системы и технологии синтеза рельефно-фазовых оптических элементов : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Корольков Виктор Павлович ; [Институт автоматики и процессов и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук] |
|
1980 |
Курносов, Анатолий Иванович |
Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : учебное пособие для средних профессионально-технических училищ / А. И. Курносов |
|
2021 |
Иванов, Владимир Викторович |
Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Иванов Владимир Викторович ; [Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (АО "НИИМЭ") ] |
|
2022 |
Бодров, Евгений Эдуардович |
Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Е. Э. Бодров |
|
1985 |
Туромша, Евгений Петрович (кандидат физико-математических наук) |
Спектрально-кинетические исследования карбонилсодержащих маскирующих материалов в реакциях взаимодействия с потоками заряженных и нейтральных частиц : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Туромша Евгений Петрович ; Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина |
|
2008 |
Муравский, Александр Викторович |
Фотоориентация для оптически перезаписываемой (ОПЗ) электронной бумаги и фотоники: физика и применение : диссертация на соискание ученой степени доктора философии : утверждена 04.06.09 / Муравский Александр ; научный руководитель Владимир Чигринов ; Гонконговский университет науки и технологии, Департамент электроники и компьютерной инженерии |
|
1985 |
Мокеев, Олег Константинович |
Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем : учебник для проф.-техн. училищ / О. К. Мокеев, А. С. Романов |
|
2010 |
Точицкий, Яков Иванович (кандидат технических наук) |
Оптические технологии микро- и наноэлектроники / Я. И. Точицкий |
|
2014 |
Агейченко, Александр Степанович (кандидат технических наук, электроника) |
Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Агейченко Александр Степанович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2018 |
Мартынов, Валерий Владимирович (доктор технических наук) |
Технология сверхбольших интегральных схем и оптико–механическое оборудование для микро– и наноэлектроники / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий ; Национальная академия наук Беларуси |
|
2022 |
Иванников, Валерий Павлович (доктор технических наук ; кандидат физико-математических наук ; род. 1944) |
Информационно-измерительная техника и электроника : учебное пособие : [для студентов, обучающихся по направлениям подготовки специалистов 13.04.02 "Электроэнергетика и электротехника"; 13.04.01 "Теплоэнергетика и теплотехника"; 15.04.04 "Автоматизация технологических процессов и производств"; 20.04.01 "Техносферная безопасность"] / В. П. Иванников |
|
2007 |
Аваков, Сергей Мирзоевич (доктор технических наук, электроника ; род. 1955) |
Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники : диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.06 : защищена 03.04.08 : утверждена 25.06.08 / Аваков Сергей Мирзоевич ; научный консультант С. Е. Карпович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2008 |
Рыжикова, Юлия Владимировна |
Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.03 / Рыжикова Юлия Владимировна ; Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ