| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2007 |
Емельянов, Виктор Андреевич (доктор технических наук ; род. 1948) |
Оборудование для химического осаждения из газовой фазы функциональных слоев / В. А. Емельянов, А. С. Турцевич, О. Ю. Наливайко |
|
2002 |
Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971) |
Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования : Автореф.дис.... канд.техн.наук: 05.27.06 / Д.А.Голосов; Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники |
|
2019 |
Strempel, Verena A. E. |
Atomic layer deposition on particulate systems and its application to heterogeneous catalysis : von der Fakultät II - Mathematik und Naturwissenschaften der Technischen Universität Berlin zur Erlangung des akademischen Grades Doktor der Ingenieurwissenschaften - Dr. - Ing. - genehmigte Dissertation / Verena A. E. Strempel |
|
2017 |
Черникова, Анна Георгиевна |
Структурные и электрофизические свойства аморфных HfxAl1-xOy и сегнетоэлектрических HfxLa1-xOy, HfxZr1-xOy тонкопленочных оксидов, формируемых методом атомно-слоевого осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.04 Физическая электроника / Черникова Анна Георгиевна ; [Московский физико-технический институт] |
|
2011 |
Гудкова, Светлана Александровна |
Исследование структуры и свойств двух и трехкомпонентных оксидов TlxAl1-xOy, сформированных методом атомарно-слоевого осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Гудкова Светлана Александровна ; [Московский физико-технический институт (государственный университет)] |
|
2019 |
Пучнина, Светлана Викторовна |
Исследование и разработка технологии пайки сапфира с металлами для газоразрядных источников излучения оптико-электронных систем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Пучнина Светлана Викторовна ; [Филиал АО "Стелла-К"] |
|
2022 |
Knemeyer, Kristian |
Catalyst synthesis and modification via atomic layer deposition : Dissertation : von der Fakultat II - Mathematik und Naturwissenschaften der Technischen Universitat Berlin zur Erlangung des akademischen Grades Doktor der Naturwissenschaften (Dr. rer. nat.) / Kristian Knemeyer |
|
2013 |
Токнова, Валентина Федоровна |
Структура и свойства бинарных и многокомпонентных покрытий на основе оксида титана и оксида гафния, формируемых атомно-слоевым осаждением из алкоксидов титана и этилметиламида гафния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.21 Химия твердого тела / Токнова Валентина Федоровна ; [Московский физико-технический институт (государственный университет)] |
|
2019 |
Сырков, Андрей Гордианович (доктор технических наук ; кандидат химических наук ; род. 1956) |
Нанотехнология и наноматериалы. Физические и минерально-сырьевые аспекты : учебное пособие / А. Г. Сырков, В. Ю. Бажин, А. С. Мустафаев ; под редакцией Н. Р. Прокопчука |
|
1995 |
Зарецкая, Елена Петровна (кандидат физико-математических наук) |
Получение пленок твердых растворов CuInxGa1-Se2 импульсным лазерным осаждением и исследование их физических свойств : Автореф. дис.... канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / НАН Беларуси, Ин-т физики твердого тела и полупроводников |
|
2000 |
Дмитренко, Юрий Михайлович (кандидат технических наук) |
Методы получения алмазных пленок при пониженном давлении / Ю.М.Дмитренко,С.А.Жданок,В.Г.Минкина;НАН Беларуси.АНК "Ин-т тепло- и массообмена им.А.В.Лыкова" |
|
2014 |
Ефимов, Никита Юрьевич |
Химическая сборка и функциональные свойства фосфор-,кремний-, титансодержащих структур на поверхности компонентов полимерных материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.21 Химитя твердого тела / Ефимов Никита Юрьевич ; [Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический) институт (технический университет)] |
|
2019 |
Егоров, Константин Викторович |
Резистивное переключение в структурах металл-изолятор-металл на основе оксида гафния и оксида тантала, формируемых атомно-слоевым осаждением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.04 Физическая электроника / Егоров Константин Викторович ; [Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)] |
|
2010 |
Миронов, Алексей Юрьевич |
Квантовый транспорт в тонких пленках нитрида титана : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Миронов Алексей Юрьевич ; [Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук] |
|
1999 |
Голозубов, Андрей Леонидович (кандидат технических наук) |
Разработка процесса и оптимизация технологии нанесения тонкопленочных упрочняющих кремнийсодержащих покрытий осаждением из дуговой плазмы : Автореф.дис.... канд.техн.наук:05.03.06 / Могилев.машиностроит.ин-т |
|
2000 |
Данилина, Т. И. |
Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учеб.пособие для вузов / Т.И.Данилина,С.В.Смирнов |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ