| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
1999 |
Кошин, Илья Николаевич (кандидат технических наук, электротехника) |
Влияние ионно-плазменной обработки консрукционных материалов на характеристики тепловых источников оптического излучения : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.09.07 / Морд. гос. ун-т им. Н.П.Огарева |
|
1939 |
Эспе, В. |
Технология электровакуумных материалов : перевод с немецкого / В. Эспе и М. Кноль |
|
2013 |
|
Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии : [монография] : в 3 т. / [О. Ю. Наливайко и др.] ; под редакцией А. С. Турцевича. — Т. 1 |
|
2004 |
Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук) |
Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии : Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 : Защищена 13.02.04 : Утв. 13.05.04 / Петлицкий Александр Николаевич |
|
1984 |
Хитько, Валентин Иванович (кандидат технических наук ; род. 1944) |
Разработка технологического процесса геттерирования дефектов в кремниевых пластинах имплантацией ионов вольфрама и свинца : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.12.18 / Хитько Валентин Иванович ; Мин. радиотехн. ин-т |
|
2004 |
Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук) |
Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии : Автореф. дис.... канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А.Н.Петлицкий; Бел. гос. ун-т |
|
1987 |
Комар, Валерий Аркадьевич (физик) |
Неконтролируемые примеси в полупроводниковых структурах на основе кремния и методы их геттерирования : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / АН БССР, Ин-т физики твердого тела и полупроводников |
|
2013 |
|
Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии : [монография] : в 3 т. / [О. Ю. Наливайко и др.] ; под редакцией А. С. Турцевича. — Т. 1 |
|
1993 |
Павленко, Анатолий Алексеевич |
Использование пучков заряженных частиц для ядерного легирования кремния и разработка методов радиационного геттерирования полупроводниковых свч-приборов : Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра физ.-мат.наук:(01.04.07) / Киев.ун-т им.Т.Г.Шевченко |
|
2001 |
|
Физические основы быстрой термообработки. Геттерирование, отжиг ионнолегированных слоев, БТО в технологии СБИС / В.М. Анищик, В.А. Горушко, В.А. Пилипенко и др |
|
2004 |
Гришин, Александр Геннадьевич |
Преципитация кислорода в кремнии, легированном цирконием : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Гришин Александр Геннадьевич ; [Ульяновский государственный университет] |
|
2023 |
Воротынцев, Владимир Михайлович (доктор химических наук) |
Базовые технологии микро-и наноэлектроники : учебное пособие : для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов |
|
2006 |
Криворучко, Артем Александрович |
Моделирование диффузии примесей в полупроводниках при неравновесных условиях : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Криворучко Артем Александрович ; [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им. В.И.Ленина] |
|
2001 |
Анищик, Виктор Михайлович (доктор физико-математических наук ; род. 1945) |
Физические основы быстрой термообработки : Геттерирование,отжиг ионнолегированных слоев,БТО в технологии СБИС |
|
2004 |
Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук) |
Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 : 13.02.2004 / Петлицкий Александр Николаевич ; Белорус. гос. ун-т |
|
2000 |
Сорокин, Константин Викторович |
Исследование и разработка методов защиты поверхности кремниевых фотодиодов с применением ионной имплантации : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.06 / Сорокин Константин Викторович ; [Моск. гос. акад. тонкой хим. технологии им. М.В.Ломоносова] |
|
2004 |
Филимонов, Сергей Александрович |
Повышение эксплуатационных характеристик электроплазменных геттерных и эмиссионных покрытий, применяемых в производстве электровакуумных приборов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.09.10 ; 05.27.02 / Филимонов Сергей Александрович ; [Саратовский государственный технический университет] |
|
2001 |
|
Физические основы быстрой термообработки : геттерирование, отжиг ионнолегированных слоев, БТО в технологии СБИС / В. М. Анищик [и др.] |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ