| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2013 |
Вилкова, Елена Юрьевна |
Физико-химические основы химико-механического полирования CVD-ZnSe с использованием смол на основе канифоли : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.01 Неорганическая химия / Вилкова Елена Юрьевна ; [Институт химии высокочистных веществ им. Г. Г. Девятых РАН] |
|
2000 |
Макаров, Антон Сергеевич |
Исследование нарушений структуры кремния, возникающих при химико-механическом полировании : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.06 / Макаров Антон Сергеевич ; [Моск. гос. ин-т электрон. техники] |
|
2012 |
Артемов, Александр Серафимович (кандидат физико-математических наук) |
Исследование физико-химических процессов и создание основ технологии химико-механического полирования материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Артемов Александр Серафимович ; [Институт общей физики им. А. М. Прохорова Российской академии наук] |
|
2013 |
|
Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии : [монография] : в 3 т. / [О. Ю. Наливайко и др.] ; под редакцией А. С. Турцевича. — Т. 3 |
|
2022 |
Наливайко, Олег Юрьевич (кандидат технических наук, электроника) |
Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Наливайко Олег Юрьевич ; научный руководитель Турцевич Аркадий Степанович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2013 |
Гладких, Алексей Алексеевич |
Разработка и исследование методов проектирования СБИС с учетом результатов моделирования процесса химико-механической планаризации : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.13.12 Системы автоматизации проектирования / Гладких Алексей Алексеевич ; [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана] |
|
2013 |
Вилкова, Елена Юрьевна |
Физико-химические основы химико-механического полирования CVD-ZnSe с использованием смол на основе канифоли : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.01 Неорганическая химия / Вилкова Елена Юрьевна ; [Институт химии высокочистых веществ им. Г. Г. Девятых Российской академии наук] |
|
2022 |
Наливайко, Олег Юрьевич (кандидат технических наук, электроника) |
Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Наливайко Олег Юрьевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2011 |
Фарафонов, Сергей Борисович |
Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Фарафонов Сергей Борисович ; [Институт общей физики им. А. М. Проханова РАН] |
|
2004 |
|
Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ