| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
1992 |
Мозалев, Александр Михайлович (кандидат технических наук) |
Исследование электрохимических и плазмохимических процессов обработки слоев алюминия, тантала и их анодных оксидов при создании планарной многоуровневой металлизации СБИС : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.01 / Мозалев Александр Михайлович ; Мин. радиотехн. ин-т |
|
1999 |
Рыбалко, Иван Федотович |
Минеральный порошок из шлама нейтрализации травильных растворов : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.23.05 / Донбас. гос. акад. стр-ва и архитектуры |
|
1998 |
Реутов, Валерий Филиппович (доктор физико-математических наук) |
Применение трековых мембран в нанотехнологии |
|
2003 |
Гомжин, Иван Васильевич |
Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.01 / Гомжин Иван Васильевич ; [ОАО "Науч.-исслед. ин-т полупроводникового машиностроения" (г. Воронеж)] |
|
2006 |
Кононенко, Виталий Викторович (кандидат физико-математических наук ; род. 1972) |
Модификация алмаза под действием импульсного лазерного излучения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.21 / Кононенко Виталий Викторович ; Центр естественно-научных исследований Института общей физики им. А. М. Прохорова |
|
1995 |
|
Модификация структуры трековых мембран с помощью метода газоразрядного травления / С.Н.Дмитриев, Л.И.Кравец, В.В.Слепцов и др |
|
1999 |
Крупина, Ольга Георгиевна |
Взаимодействие формовых пластин из магний-кальциевого сплава с матирующим раствором : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.02.15 / Крупина Ольга Георгиевна ; М-во образования РФ, Моск. гос. ун-т печати |
|
1983 |
Мельянец, Геннадий Иванович (кандидат технических наук) |
Плазмохимическое травление тонких пленок алюминия и его сплава с кремнием при создании металлизации интегральных микросхем повышенной степени интеграции : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.12.18 / Мельянец Геннадий Иванович ; Ин-т электроники АН БССР |
|
1981 |
|
Современные технологические процессы в микроэлектронике / Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Минский радиотехнический институт, Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры. — Ч. 4: Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами : методическое пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технологии микросхем", "Современные технологические процессы в производстве БИС и СБИС" для специальностей 0705, 0648 / С. В. Грушецкий, А. П. Достанко |
|
1995 |
Каледёнкова, Нина Владимировна |
Физико-химические свойства и ориентирующее действие пленок, получаемых при гетерогенной полимеризации и травлении в неравновесной плазме : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук : 02.00.04 / Иван. гос. хим.-технол. акад |
|
1999 |
Ларичева, Татьяна Евгеньевна |
Сенсибилизация химического травления латентных треков в полиэтилентерефталате, облученном ускоренными тяжелыми ионами : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук : 02.00.06 / Обнин. ин-т атом. энергетики |
|
1996 |
|
Методы очистки сточных вод и утилизации шламов гальванических и травильных производств : обзор / Министерство природных ресурсов и охраны окружающей среды Республики Беларусь, Белорусский научно-исследовательский центр "Экология" (БелНИЦ "Экология") ; [разработали: А. С. Сенько и др.] |
|
2000 |
Дидык, Александр Юрьевич (доктор физико-математических наук ; род. 1952) |
Volume interconnection rates in track etched membranes with various angular distributions / A. Yu. Didyk, V. Vutsadakis, S. N. Dmitriev |
|
1993 |
Горловский, Михаил Борисович |
Справочник волочильщика проволоки |
|
2005 |
Арсенин, Алексей Владимирович |
Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.04 / Арсенин Алексей Владимирович ; [ГОУ ВПО "Московский физико-технический институт" (государственный университет)] |
|
2003 |
Иванов, Евгений Юрьевич |
Фацетный витраж С.-Петербурга рубежа XIX - XX веков. Травленые и пескоструйные витражи С.-Петербурга на рубеже XIX - XX веков / Е.Ю.Иванов |
|
2000 |
Наумов, Владимир Александрович |
Введение в кинетику процессов травления печатных пластин / В.А.Наумов |
|
2001 |
|
Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники = Plasma processes in electronics production : в 3 т. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen. — Т. 2 / под общей редакцией А. П. Достанко |
|
2004 |
Жукова, Светлана Александровна |
Структурные эффекты плазмохимической обработки тонких полиамидных пленок и покрытий в технологии устройств микросистемной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.02.01 / Жукова Светлана Александровна ; ["МАТИ" - Российский государственный технологический университет им. К.Э.Циолковского] |
|
2005 |
Раков, Сергей Владимирович |
Образование канавок жидкометаллического травления в системе Al-Sn : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Раков Сергей Владимирович ; [Московский государственный институт стали и сплавов] |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ