| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2015 |
Павлова, Анастасия Юрьевна (электроника) |
Наноструктурирование ферромагнитных пленок зондовыми методами для перспективных устройств магнитоакустики и спинтроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Павлова Анастасия Юрьевна ; [Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.] |
|
2016 |
Полетаев, Сергей Дмитриевич |
Формирование оптических микроструктур методом лазерной записи на пленках молибдена : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Полетаев Сергей Дмитриевич ; [Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королёва] |
|
2019 |
Мухин, Иван Сергеевич (кандидат физико-математических наук ; физик) |
Комбинированные методы создания и исследования функциональных наноструктур для нанофотоники и наномеханики : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 01.04.01 Приборы и методы экспериментальной физики / Мухин Иван Сергеевич ; [Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет Российской академии наук] |
|
2003 |
Силаков, Михаил Валерьевич |
Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Силаков Михаил Валерьевич ; Физико-технологический институт Российской академии наук |
|
2019 |
|
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Электронные радиационные технологии : учебник для бакалавриата и магистратуры / В. И. Иванов [и др.] ; под редакцией А. С. Сигова ; Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники, Томский политехнический университет |
|
1985 |
Попов, В. К. |
Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии / В. К. Попов, С. Н. Ячменев |
|
2008 |
|
Nanotechnology / ed.: G. Schmid [et al.]. — Vol. 3: Information technology I / edited by Rainer Waser |
|
2020 |
Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника) |
Производство гибридных интегральных схем : учебное пособие / Ю. А. Родионов |
|
2010 |
Королев, Михаил Александрович (доктор технических наук) |
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 (200100) "Микроэлектроника и твердотельная электроника" : [в 2 ч.] / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева ; под общей редакцией Ю. А. Чаплыгина. — Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование |
|
2020 |
Российская конференция по электронной микроскопии (28 ; 2020 ; Черноголовка, Московская область) |
ХХVIII Российская конференция по электронной микроскопии и VI Школа молодых ученых ["Современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарных методов в исследованиях наноструктур и наноматериалов", 5—10 сентября 2020 года, г. Черноголовка : РКЭМ — 2020] : сборник тезисов / [организационный комитет: председатель конференции Ковальчук М. В. и др.]. — Т. 2: (Конференция) |
|
2020 |
Российская конференция по электронной микроскопии (28 ; 2020 ; Черноголовка, Московская область) |
ХХVIII Российская конференция по электронной микроскопии и VI Школа молодых ученых ["Современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарных методов в исследованиях наноструктур и наноматериалов", 5—10 сентября 2020 года, г. Черноголовка : РКЭМ — 2020] : сборник тезисов / [организационный комитет: председатель конференции Ковальчук М. В. и др.]. — Т. 3: (Конференция) |
|
2021 |
Шишлянников, Антон Валерьевич |
Исследование методов формирования структур с критическими размерами до 10 нм электронно-лучевой литографией на основе HSQ резиста : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Шишлянников Антон Валерьевич ; Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники" (АО "НИИМЭ") |
|
2011 |
Тупик, Виктор Анатольевич (доктор технических наук ; род. 1960) |
Разработка методов синтеза и обработки наноразмерных пленок : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.16.09 / Тупик Виктор Анатольевич ; [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)] |
|
2013 |
|
Nanotechnology for sustainable energy / [edited by]: Yun Hang Hu, Uwe Burghaus, Shizhang Qiao |
|
2023 |
|
Химико-технологические основы микро-и наноэлектроники : учебное пособие / [А. А. Величко и др.] ; под редакцией А. Н. Игнатова |
|
2001 |
Преснов, Денис Евгеньевич (кандидат физико-математических наук ) |
Экспериментальное исследование зарядовых флуктуаций в алюминиевых одноэлектронных структурах стековой геометрии : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / Преснов Денис Евгеньевич ; Моск. гос. ун-т им. М.В.Ломоносова, Науч.-исслед. ин-т ядер. физики им. Д.В.Скобельцына |
|
2001 |
Чебуркин, Александр Николаевич |
Диагностика источников электронов по двумерным изображениям : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / Чебуркин Александр Николаевич ; [Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики (техн. ун-т), Ин-т общ. физики РАН] |
|
2007 |
Князев, Максим Александрович |
Исследование процессов 3D- структурирования в электронной литографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Князев Максим Александрович ; [Институт проблем технологии микроэлекроники и особочистых материалов РАН] |
|
2018 |
|
Chiral nanomaterials : preparation, properties and applications / edited by Zhiyong Tang |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ