| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2010 |
Нечаев, Михаил Анатольевич |
Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.09.03 / Нечаев Михаил Анатольевич ; [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет"] |
|
2016 |
Константинов, Станислав Валерьевич (кандидат физико-математических наук, физик) |
Радиационная стойкость и механические свойства наноструктурированных покрытий TiN, TiAlN, TiAlYN, TiCrN, (TiHfZrVNb)N, сформированных методами вакуумного осаждения : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Константинов Станислав Валерьевич ; научный руководитель Комаров Ф. Ф. ; Белорусский государственный университет, НИУ "Институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко" БГУ |
|
2019 |
Жарков, Станислав Юрьевич |
Повышение износостойкости меди при трении в атмосфере инертного газа методами имплантации и нанесения покрытий : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Жарков Станислав Юрьевич ; [Институт физики прочности и материаловедения Сибирского отделения Российской академии наук] |
|
2009 |
Воронов, Павел Евгеньевич |
Оптические и электрофизические свойства тонких наноструктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / Воронов Павел Евгеньевич ; [ГОУ ВПО "Северо-Кавказский государственный технический университет"] |
|
2009 |
Хатько, Вячеслав Владимирович (доктор физико-математических наук) |
Структуры металл-диоксид кремния-полупроводник для интегральных микросхем : монография / В. В. Хатько |
|
2010 |
Дмитриева, Елена Анатольевна |
Структура, оптические и электрофизические свойства нанопленок SnOx, синтезированных магнетронным распылением и золь-гель методом : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Дмитриева Елена Анатольевна ; [ТОО "Физико-технический институт", АО ННТХ "Парасат Министерства образования и науки Республики Казахстан"] |
|
2011 |
Тимаков, Сергей Владимирович |
Системы управления технологическими режимами магнетронного нанесения тензорезистивных пленок : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.11.16 ; 05.11.14 / Тимаков Сергей Владимирович ; [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет", Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений"] |
|
2009 |
Курганская, Любовь Викторовна (кандидат физико-математических наук) |
Свойства гетероструктур карбида кремния на кремнии и изоляторе в области сверхвысоких частот : автореферат диссератации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Курганская Любовь Викторовна ; [ГОУ ВПО "Самарский государственный университет"] |
|
2009 |
Рогожин, Александр Евгеньевич |
Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов, на основе силицидов и диэлектриков с высоким є, полученных методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рогожин Александр Евгеньевич ; [Физико-технологический институт Российской академии наук] |
|
2009 |
Фантиков, Валентин Сергеевич (кандидат технических наук) |
Формирование фрактальных тонкопленочных структур при магнетронном нанесении покрытий : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.17.01 / Фантиков Валентин Сергеевич ; [ГОУ ВПО "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульнова (Ленина)] |
|
2010 |
Дементьева, Марина Геннадьевна |
Структурно-фазовые состояния поверхностных слоев никелида титана с покрытиями из молибдена и тантала, полученными магнетронным осаждением и модифицированными ионными пучками : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Дементьева Марина Геннадьевна ; [Учреждение Российской академии наук "Институт физики прочности и материаловедения Сибирского отделения РАН"] |
|
2011 |
Зайцев, Сергей Витальевич |
Синтез и свойства тонкопленочных гетероструктур на основе Ti, Nb и их оксидов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.21 / Зайцев Сергей Витальевич ; [Воронежский государственный университет] |
|
2009 |
Работкин, Сергей Викторович |
Нанесение прозрачных проводящих покрытий на основе оксида цинка методом магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.02 / Работкин Сергей Викторович ; [Учреждение Российской академии наук Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН] |
|
2011 |
Щелканов, Иван Анатольевич |
Сильноточный импульсный магнетронный разряд с автоускорением плазмы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.08 / Щелканов Иван Анатольевич ; [Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"] |
|
2016 |
Константинов, Станислав Валерьевич (кандидат физико-математических наук, физик) |
Радиационная стойкость и механические свойства наноструктурированных покрытий TiN, TiAlN, TiAlYN, TiCrN (TiHfZrVNb)N, сформированных методами вакуумного осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Константинов Станислав Валерьевич ; Государственное научно-производственное объединение "Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению" |
|
2007 |
Ломанов, Алексей Николаевич |
Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.13.06 / Ломанов Алексей Николаевич ; [Рыбинская государственная авиационная технологическая академия им. П. А. Соловьёва] |
|
2007 |
Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук, электроника ; род. 1948) |
Формирование токопроводящих контактных соединений в изделиях электроники = Formation of current-carrying contact connections in electronics products / В. Л. Ланин, А. П. Достанко, Е. В. Телеш ; [Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники] |
|
2010 |
Берлин, Евгений Владимирович (вакуумная техника и технология) |
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Е. В. Берлин, Л. Сейдман |
|
2010 |
Жаканбаев, Елдар Асхатович |
Размерный эффект при формировании нитридов титана и ниобия : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Жаканбаев Елдар Асхатович ; [Институт ядерной физики Национального ядерного центра Республики Казахстан] |
|
2011 |
Захаров, Александр Николаевич |
Магнетронные распылительные системы и технологии нанесения энергосберегающих покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.02 / Захаров Александр Николаевич ; [Учреждение Российской академии наук Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН] |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ