
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков Справка

Базовый поиск	Расширенный поиск	Cловари	ГРНТИ	Новые поступления	Профессионалам Поиск Экспорт данных/ Z39.50 Belmarc Методические решения

Запрос: a001="BY-NLB-ar2473268"
Записи: 1 - 6 из 6 (стр. 1 из 1)

Сортировать по:

Дата	Автор	Заглавие
1992	Бокша, Виктор Владимирович	Разработка основ технологии создания маскирующих слоев для БИС методом лазерной вакуумной проекционной литографии : Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук: (05.27.01) / Мин.радиотехн.ин-т
2013	Полковников, Владимир Николаевич	Многослойные зеркала для рентгеновской астрономии и проекционной литографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.01 Приборы и методы эксприментальной физики / Полковников Владимир Николаевич ; [Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН)]
2006	Пестов, Алексей Евгеньевич	Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5НМ : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.01 / Пестов Алексей Евгеньевич ; [Институт физики микроструктур РАН]
2015	Цыбин, Николай Николаевич	Многослойные абсорбционные фильтры для астрономии и проекционной литографии экстремального ультрафиолетового диапазона : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.01 Приборы и методы экспериментальной физики / Цыбин Николай Николаевич ; [Институт физики микроструктур Российской академии наук]
2010	Родионов, Илья Анатольевич	Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.11.14 / Родионов Илья Анатольевич ; [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана]
2011	Тупик, Виктор Анатольевич (доктор технических наук ; род. 1960)	Разработка методов синтеза и обработки наноразмерных пленок : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.16.09 / Тупик Виктор Анатольевич ; [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)]

Служба технической поддержки:
+375 17 293 29 78
skk@nlb.by
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024
© Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси