| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2021 |
Иванов, Владимир Викторович |
Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Иванов Владимир Викторович ; [Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (АО "НИИМЭ") ] |
|
2022 |
Бодров, Евгений Эдуардович |
Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Е. Э. Бодров |
|
2006 |
Романенко, Дмитрий Михайлович (кандидат технических наук, информатика) |
Многомерные линейные итеративные коды для систем полупроводниковой памяти на пластинах : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.13.17 : 07.04.2006 / Романенко Дмитрий Михайлович ; Белорусский государственный университет |
|
2007 |
Руденко, Анатолий Александрович |
Эффект фотопьезоэлектрического индуцирования упругих колебаний в высокоомных монокристаллах арсенида галлия : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Руденко Анатолий Александрович ; [Воронежский государственный технический университет] |
|
1992 |
Минский НИИ радиоматериалов |
Комплект оборудования для обработки полупроводниковых пластин с использованием экологически чистой технологии |
|
2001 |
|
Micro 200, 200T : Рекламный проспект |
|
2019 |
Папина, Сергей Степанович (кандидат технических наук) |
Управление параметрами механических колебаний в прецизионных приводах линейных координатных систем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.02.02 Машиноведение, системы приводов и детали машин / Папина Сергей Степанович ; Государственное научное учреждение "Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси" |
|
2023 |
Заиченко, Александр Николаевич |
Физико-технологические основы термомиграционного легирования микрообластей в объеме кремния акцепторными примесями : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники / Заиченко Александр Николаевич ; [место защиты: Южный федеральный университет (ЮФУ)] |
|
1984 |
Коновалов, Игорь Васильевич (обработка материалов) |
Технологическое обеспечение прецизионной механической обработки пластин кремния при разделении их на базовые элементы алмазными дисками : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.02.08 Технология машиностроения / Коновалов Игорь Васильевич ; Академия наук Белорусской ССР, Институт проблем надежности и долговечности машин |
|
2019 |
Папина, Сергей Степанович (кандидат технических наук) |
Управление параметрами механических колебаний в прецизионных приводах линейных координатных систем : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.02.02 Машиноведение, системы приводов и детали машин / Папина Сергей Степанович ; научный руководитель Басинюк В. Л. ; Государственное научное учреждение "Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси" |
|
2001 |
|
Химическая обработка в технологии ИМС / В. П. Василевич [и др.] |
|
2016 |
Папина, Сергей Степанович (кандидат технических наук) |
Комбинированные приводы координатных систем для прецизионного разделения полупроводниковых пластин на кристаллы : монография / С. С. Папина, В. Л. Басинюк ; Национальная академия наук Беларуси, Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси |
|
2006 |
Ююкин, Николай Викторович |
Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.13.06 / Ююкин Николай Викторович ; [Воронежский государственный технический университет] |
|
2021 |
|
Оптико-механическое оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах и подложках : [каталог продукции] / Открытое акционерное общество "Планар" |
|
2004 |
Мальвинова, Ольга Валерьевна |
Разработка технологии пластин полупроводниковых соединений АIIIВV современной точности обработки : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / Мальвинова Ольга Валерьевна ; [Московский государственный институт электронной техники (технический университет)] |
|
1993 |
Баковец, Владимир Викторович |
Актуальные проблемы капиллярности в электронном материаловедении / В. В. Баковец ; Ин-т неорган. химии СО РАН. — Ч. 1 |
|
1989 |
Моряков, Олег Сергеевич |
Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства : учебник для профессионально-технических училищ / О. С. Моряков |
|
2014 |
|
Оптико-механическое оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах и подложках / ОАО "КБТЭМ-ОМО" |
|
2001 |
Коваленко, Владислав Борисович |
Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.13.18 / Коваленко Владислав Борисович ; [Воронеж. гос. технол. акад.] |
|
2007 |
Игонина, Татьяна Ивановна |
Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.11.14 ; 05.02.08 / Игонина Татьяна Ивановна ; [Пензенский государственный университет] |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ