| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
1985 |
Туромша, Евгений Петрович (кандидат физико-математических наук) |
Спектрально-кинетические исследования карбонилсодержащих маскирующих материалов в реакциях взаимодействия с потоками заряженных и нейтральных частиц : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Туромша Евгений Петрович ; Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина |
|
2008 |
Данилкин, Евгений Викторович |
Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / Данилкин Евгений Викторович ; [Московский государственный институт электронной техники и Межуниверситетский Центр Микроэлектроники] |
|
2011 |
Гринькин, Евгений Анатольевич |
Формирование и свойства регулярных поверхностных и пористых полиимидных микроструктур для элементов микросистемной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.16.09 / Гринькин Евгениий Анатольевич ; [МАТИ – Российский государственный технологический университет им. К. Э. Циолковского] |
|
2009 |
|
Материаловедение и технология тонкопленочных сенсорных структур : лабораторные работы для студентов специальности 1-55 01 02 "Интегральные сенсорные системы" / Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский национальный технический университет, Кафедра "Интеллектуальные системы" ; [составители: А. В. Сергейченко, А. А. Шевченок] |
|
2013 |
Курочка, Александр Сергеевич |
Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Курочка Александр Сергеевич ; [Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"] |
|
2002 |
Богданович, Валерий Иосифович |
Управление эксплуатационными свойствами деталей с вакуумными ионно-плазменными покрытиями при производстве летательных аппаратов : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук : 05.07.02 / Богданович Валерий Иосифович ; [Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С.П.Королева] |
|
2012 |
Казанский, Николай Львович (доктор физико-математических наук ; кандидат технических наук ; род. 1958) |
Формирование оптического микрорельефа во внеэлектронной плазме высоковольтного газового разряда / Н. Л. Казанский, В. А. Колпаков |
|
2008 |
Аракчеева, Екатерина Михайловна |
Полупроводниковые микроструктуры на основе соединений AIIIBV, полученные методом реактивного ионного травления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Аракчеева Екатерина Михайловна ; [Учреждение Российской академии наук Физико-технический институт им. Иоффе РАН] |
|
2022 |
Деревяшкин, Сергей Владимирович |
Акриламидные производные полифторированных халконов для фотолитографического формирования электропроводящих микроструктур на анодированном алюминии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 1.4.4 Физическая химия / Деревяшкин Сергей Владимирович ; [Новосибирский институт органической химии им. Н. Н. Ворожцова Сибирского отделения Российской академии наук] |
|
1989 |
Данилин, Борис Степанович |
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин |
|
2012 |
Моисеев, Константин Михайлович |
Управление рельефом поверхности самоупорядоченных глобулярных микроструктур для изделий электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Моисеев Константин Михайлович ; [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана] |
|
2019 |
Абрамова, Елена Николаевна |
Механизм образования пор в Si n- и p-типов проводимости при его электрохимическом травлении в растворах фтористоводородной кислоты : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.04 Физическая химия / Абрамова Елена Николаевна ; [МИРЭА – Российский технологический университет] |
|
2023 |
Руденко, Михаил Константинович |
Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств / Руденко Михаил Константинович ; [место защиты: МИРЭА - Российский технологический университет] |
|
2020 |
|
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии : учебник для вузов / В. И. Иванов [и др.] ; под редакцией А. С. Сигова ; Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники, Томский политехнический университет |
|
2006 |
Сергиенко, Андрей Алексеевич |
Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии и с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / Сергиенко Андрей Алексеевич ; [Московский государственный институт стали и сплавов] |
|
2000 |
Данилина, Т. И. |
Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учеб.пособие для вузов / Т.И.Данилина,С.В.Смирнов |
|
2018 |
|
Chiral nanomaterials : preparation, properties and applications / edited by Zhiyong Tang |
|
2019 |
Редуто, Игорь Владимирович |
Термо-полевая модификация для формирования наноструктур на поверхности стекол : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Редуто Игорь Владимирович ; [Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет Российской академии наук ] |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ