№ | Дата |
Автор |
Заглавие |
---|
|
2000 |
Грицай, Юрий Владимирович (кандидат физико-математических наук ; род. 1967) |
Процессы формирования фазовых рельефов в полимерных слоях, содержащих фотодимеризующиеся производные антрацена : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : 01.04.05 / Бел. гос. ун-т |
|
2002 |
Прудник, Александр Михайлович (род. 1973) |
Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок : Автореф.дис.... канд.техн.наук:05.27.01 / А.М.Прудник;Бел.гос.ун-т информатики и радиоэлектронники |
|
2014 |
Зайцев, Алексей Александрович |
Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с примененением технологии наноимпринт-литографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Зайцев Алексей Александрович ; [Национальный исследовательский университет «МИЭТ»] |
|
2017 |
|
Nanoelectronics : materials, devices, applications / edited by Robert Puers [et al.]. — Vol. 1 |
|
2008 |
Скорб, Екатерина Владимировна (кандидат химических наук) |
Фотокаталитические и фотолитографические системы на основе пленок наноструктурированного диоксида титана, модифицированного металлическими и биметаллическими частицами : диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.04 : защищена 18.11.08 : утверждена 17.12.08 / Скорб Екатерина Владимировна ; научный руководитель Свиридов Д. В. ; Белорусский государственный университет |
|
2004 |
|
Polymers and light / [ed. T. Lippert] ; with contributions by S.Georgiou [et al.] |
|
2003 |
|
Synchrotron radiation: fundamentals, methodologies and applications = I fondamenti, le metodologie sperimentali e le applicazioni della luce di sincrotrone, S. Margherita di Pula, 17-28 September 2001 / ed. by S. Mobilo a. G. Vlaic |
|
1985 |
Тилл, Уильям |
Интегральные схемы : материалы, приборы, изготовление : перевод с английского / У. Тилл, Дж. Лаксон |
|
1993 |
|
Государственный научно-производственный концерн точного машиностроения "Планар" |
|
2014 |
Булгакова, Вера Геннадьевна |
Исследование процессов формирования малоразмерных и объемных полимерных элементов в фотоотверждаемых композиционных материалах : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Булгакова Вера Геннадьевна ; [Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики] |
|
2018 |
Колегов, Константин Сергеевич (кандидат физико-математических наук) |
Моделирование массопереноса в капельно-пленочных системах с использованием регуляризованной разностной схемы в испарительной литографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ / Колегов Константин Сергеевич ; [Астраханский государственный университет] |
|
2018 |
Мартынов, Валерий Владимирович (доктор технических наук) |
Технология сверхбольших интегральных схем и оптико–механическое оборудование для микро– и наноэлектроники / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий ; Национальная академия наук Беларуси |
|
2006 |
Цветков, Юрий Борисович (доктор технических наук) |
Основы управления топологической точностью микролитографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.06 / Цветков Юрий Борисович ; [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана] |
|
2008 |
Скорб, Екатерина Владимировна (кандидат химических наук) |
Фотокаталитические и фотолитографические системы на основе пленок наноструктурированного диоксида титана, модифицированного металлическими и биметаллическими частицами : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.04 / Скорб Екатерина Владимировна ; Белорусский государственный университет |
|
1981 |
Глазков, Илья Михайлович (доктор технических наук ; 1922—1996) |
Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем / И. М. Глазков, Я. А. Райхман ; редактор Э. И. Точицкий |
|
2002 |
Лыньков, Леонид Михайлович (доктор технических наук ; род. 1949) |
Микроструктуры на основе анодной алюмооксидной технологии : монография / Л. М. Лыньков, Н. И. Мухуров |
|
1998 |
Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника) |
Литография в производстве интегральных микросхем : Учеб.пособие для ПТУ |
|
2008 |
|
Nanofabrication : fundamentals and applications / ed. Ampere A. Tseng |
|
1950-1960 |
Ершов, Борис Георгиевич (род. 1917) |
Каблуков Иван Алексеевич (18571942) [Изоматериал] : [эстамп] / автолитография художника Ершова Б. Г |
|
1992 |
Минский научно-исследовательский приборостроительный институт |
Стереолитография. SLA - это "ноу-хау" компьютерной техники |