№ | Дата |
Автор |
Заглавие |
---|
|
2004 |
Радькова, Наталья Олеговна |
Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.02.08 ; 05.03.01 / Радькова Наталья Олеговна ; [Брянский государственный технический университет] |
|
1991 |
Румак, Николай Владимирович (доктор технических наук ; 1941—1995) |
Компоненты МОП-интегральных микросхем / Н. В. Румак ; под редакцией А. П. Достанко ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт |
|
2019 |
Бондаренко, Анна Витальевна (доктор технических наук) |
Наноструктурированные пленки меди на пористом кремнии: формирование, свойства и применение / А. В. Бондаренко |
|
2000 |
Макаров, Антон Сергеевич |
Исследование нарушений структуры кремния, возникающих при химико-механическом полировании : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.06 / Макаров Антон Сергеевич ; [Моск. гос. ин-т электрон. техники] |
|
1991 |
|
Численное моделирование диффузии примесей в кремниевых структурах, сформированных локальным окислением / А. Ф. Буренков [и др.] |
|
2000 |
|
Физические основы быстрой термообработки. Температурные поля и конструктивные особенности оборудования / В.М. Анищик, В.А. Горушко, В.А. Пилипенко и др |
|
1979 |
Пилипенко, Владимир Александрович (доктор технических наук ; род. 1949) |
Исследование полупроводниковых структур с диэлектрической изоляцией методом отраженного лазерного излучения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.04 Физическая электроника, в том числе квантовая / Пилипенко Владимир Александрович ; Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина |
|
2000 |
Басин, А. С. |
Получение кремниевых пластин для солнечной энергетики. Методы и технологии / А.С. Басин, А.В. Шишкин |
|
1992 |
|
Камертон : Рекламный проспект |
|
2010 |
Королик, Ольга Васильевна |
Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 : защищена 18.06.10 : утверждена 15.09.10 / Королик Ольга Васильевна ; научный руководитель Дроздов Н. А. ; Белорусский государственный университет |
|
2014 |
Бондаренко, Анна Витальевна (доктор технических наук) |
Наноструктурированные пленки меди, формируемые методом химического осаждения на пористый кремний : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы / Бондаренко Анна Витальевна ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2014 |
Бондаренко, Анна Витальевна (доктор технических наук) |
Наноструктурированные пленки меди, формируемые методом химического осаждения на пористый кремний : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы / Бондаренко Анна Витальевна ; научный руководитель Петрович В. А. ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2000 |
Дьячков, Сергей Александрович |
Разработка и исследование технологических процессов анодного сращивания полупроводниковых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Дьячков Сергей Александрович ; Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) |
|
2006 |
Терашкевич, Игорь Макарович (кандидат технических наук) |
Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / Терашкевич Игорь Макарович ; [ЗАО "НИИ материаловедения"] |
|
2012 |
Бондаренко, Антон Сергеевич |
Исследование электрических и оптических свойств дислокационных сеток в кремнии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Бондаренко Антон Сергеевич ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение "Санкт-Петербургский государственный университет" |
|
2013 |
|
Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии : [монография] : в 3 т. / [О. Ю. Наливайко и др.] ; под редакцией А. С. Турцевича. — Т. 1 |
|
2007 |
Наумов, Александр Сергеевич |
Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.11.14 / Наумов Александр Сергеевич ; [Московский государственный университет приборостроения и информатики] |
|
2004 |
Пилипенко, Владимир Александрович (доктор технических наук ; род. 1949) |
Быстрые термообработки в технологии СБИС / В. А. Пилипенко |
|
2009 |
Высоцкий, Виктор Борисович (кандидат технических наук) |
Формирование мембранных датчиков расхода газа с терморезистивными чувствительными элементами : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.01 / Высоцкий Виктор Борисович ; Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники |
|
2010 |
Королик, Ольга Васильевна |
Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Королик Ольга Васильевна ; Белорусский государственный университет |