История поисков

Справка

    Процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком давлении с использованием высокочастотной плазмы.

    СИНОНИМЫ И УСЛОВНЫЕ СИНОНИМЫ

PECVD (сокращение, английский язык)

plasma-enhanced chemical vapor deposition (английский язык)

осаждение из паровой фазы, стимулированное плазмой

плазменно-химическое осаждение из газовой фазы

плазмохимическое газофазное осаждение

плазмохимическое осаждение из газовой фазы

ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ         ПЛАЗМАХІМІЧНАЕ АСАДЖЭННЕ

        ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
        Сайт "Российская корпорация нанотехнологий / Нанотехнологический словарь РОСНАНО."
        Портал российской национальной нанотехнологической сети.
        http://www.plasmasystem.ru/technology/pecvd