История поисков

=LDR  00000cx\\b2200289\\\45\\
=001  BY-SEK-ar8687365
=005  20150323163256.9
=100  \\$a20150323arusy50\\\\\\ca0
=102  \\$aRU
=150  \\$ay
=152  \\$apsbo
=106  \\$a0
=210  02$aИнститут проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов$cЧерноголовка, Московская область
=300  0\$aСоздан в 1983 г. на базе подразделений Института физики твердого тела и начал функционировать с 1 января 1984 г.
=300  0\$aНаправления исследований: физические принципы создания элементной базы наноэлектроники, элементной базы квантовых компьютеров; разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику, наноионику и нанооптику, развитие технологий получения и анализа материалов электронной техники; физические основы и технология формирования приборных структур микро- и наноэлектроники с помощью атомных, ионных и молекулярных пучков; исследование физических основ и разработка технологии элементной базы СВЧ электроники.
=410  02$5a$aИнститут проблем технологии и микроэлектроники АН СССР
=410  02$aИнститут проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук
=410  02$5t$aИнститут проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
=410  02$5t$aРАН$bИнститут проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
=410  02$aРоссийская академия наук$bИнститут проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
=410  02$5d$aИПТМ РАН$cЧерноголовка, Московская область
=801  \0$aBY$bBY-HM0005$c20150323
=810  \\$aXVIII Российский симпозиум по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел [Электронный ресурс] : тезисы докладов. — Черноголовка, 2013.
=830  \\$aПри появлении документов на организацию "Институт проблем технологии и микроэлектроники АН СССР" создать самостоятельную АЗ и связать с данной записью через поле 510.
=856  4\$uhttp://www.ipmt-hpm.ac.ru/index.ru.html$zСайт Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН.
=856  4\$uhttp://www.mathnet.ru/php/organisation.phtml?option_lang=rus&orgid=2623$zОбщероссийский математический портал "Math-Net.Ru".
=999  \\$f25 cnb-nbo$t20150323