История поисков

=LDR  00000cx\\j22001933\\45\\
=001  BY-NLB-ar4760361
=005  20130321143303.4
=100  \\$a20120106arusy50\\\\\\ca0
=152  \\$bDVNLB
=250  \\$aХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ
=300  1\$aИзобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление.
=450  \\$aхимико-механическая планаризация
=550  \\$5w$3BY-NLB-ar4760878$aХІМІКА-МЕХАНІЧНАЕ ПАЛІРАВАННЕ
=686  \\$2rugasnti$a47
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20120106
=836  \\$bЗаменить поле 610 (Химико-механическое уплощение).$d20130321
=856  4\$uhttp://ru.wikipedia.org/wiki$zСайт "Википедия".
=999  \\$f40$t20120106
=999  \\$h1848 NLB-NDARD$t20120127