История поисков

=LDR  00000cx\\a22002293\\45\\
=001  BY-NLB-ar2637692
=005  20110111142745.7
=100  \\$a20070504arusy50\\\\\\ca0
=102  \\$aBY
=120  \\$aba
=152  \\$apsbo
=106  \\$a0
=200  \1$aЗавадский$bС. М.$gСергей Михайлович$cкандидат технических наук
=340  \\$aКандидат технических наук, специалист в области электроники.
=340  \\$aОбласть научных интересов: технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
=400  \1$8rusbel$aЗавадскі$bС. М.$gСяргей Міхайлавіч$cкандыдат тэхнічных навук
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20070504
=810  \\$aИнтегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 : защищена 25.06.02 : утверждена : 23.04.03 / Завадский Сергей Михайлович. — Минск, 2002. (26АД3964)
=810  \\$aТехнологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые / [А. П. Достанко и др.]. — Минск, 2009. (1Н//264997(039))
=830  \\$aПеревод заголовка на белорусский язык выполнен каталогизатором.
=856  4\$uhttp://natbookcat.org.by/$zЭлектронный каталог Национальной книжной палаты Беларуси.
=999  \\$f1462$t20070504$k3426