![]() | История поисков |
Базовый | Расширенный | Номера/Индексы | Булевский | По словарям |
---|
Запись в MARC-формате
копировать MARC-запись |
=LDR 00000cx\\j22002773\\45\\
=001 BY-NLB-ar2408340
=005 20210406115444.2
=100 \\$a20061208arusy50\\\\\\ca0
=152 \\$bDVNLB
=250 \\$aМИКРОЛИТОГРАФИЯ
=300 1\$aПроцесс формирования рельефного изображения топологического слоя интегральной схемы в резистивном материале с использованием шаблона и высокоэнергетического излучения. По характеру экспонирующего излучения выделяют фотолитографию, рентгеновскую литографию, электронную литографию и ионолитографию.
=550 \\$5c$3BY-NLB-ar2723378$aНАНОЛИТОГРАФИЯ
=550 \\$5w$3BY-NLB-ar2408349$aМІКРАЛІТАГРАФІЯ
=550 \\$5h$3BY-NLB-ar13332068$aРЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ
=550 \\$5h$3BY-NLB-ar13927578$aИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
=550 \\$5h$3BY-NLB-ar2790887$aЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
=550 \\$5h$3BY-NLB-ar85256$aФОТОЛИТОГРАФИЯ
=686 \\$2rugasnti$a47
=801 \2$aBY$bBY-HM0000$c20210129
=801 \0$aBY$bBY-HM0000$c20061208
=810 \\$aЛитография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 254—256.
=810 \\$aРадиотехника : энциклопедия / под редакцией Ю. Л. Мазора, Е. А. Мачусского, В. И. Правды. ― Москва, 2016.
=999 \\$g371 NLB-NDARD$t20210129
=999 \\$i371 NLB-NDARD$t20210129$9c
=999 \\$h2088 NLB-NDARD$t20210406
=999 \\$f40$t20061208
Чтобы вернуться назад, щелкните кнопку BACK на Вашем браузере
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024 © Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси |