История поисков

=LDR  00000cx\\j22002773\\45\\
=001  BY-NLB-ar2408340
=005  20210406115444.2
=100  \\$a20061208arusy50\\\\\\ca0
=152  \\$bDVNLB
=250  \\$aМИКРОЛИТОГРАФИЯ
=300  1\$aПроцесс формирования рельефного изображения топологического слоя интегральной схемы в резистивном материале с использованием шаблона и высокоэнергетического излучения. По характеру экспонирующего излучения выделяют фотолитографию, рентгеновскую литографию, электронную литографию и ионолитографию.
=550  \\$5c$3BY-NLB-ar2723378$aНАНОЛИТОГРАФИЯ
=550  \\$5w$3BY-NLB-ar2408349$aМІКРАЛІТАГРАФІЯ
=550  \\$5h$3BY-NLB-ar13332068$aРЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ
=550  \\$5h$3BY-NLB-ar13927578$aИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
=550  \\$5h$3BY-NLB-ar2790887$aЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
=550  \\$5h$3BY-NLB-ar85256$aФОТОЛИТОГРАФИЯ
=686  \\$2rugasnti$a47
=801  \2$aBY$bBY-HM0000$c20210129
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20061208
=810  \\$aЛитография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 254—256.
=810  \\$aРадиотехника : энциклопедия / под редакцией Ю. Л. Мазора, Е. А. Мачусского, В. И. Правды. ― Москва, 2016.
=999  \\$g371 NLB-NDARD$t20210129
=999  \\$i371 NLB-NDARD$t20210129$9c
=999  \\$h2088 NLB-NDARD$t20210406
=999  \\$f40$t20061208