История поисков

=LDR  00000cx\\j22002413\\45\\
=001  BY-NLB-ar1607660
=005  20200821155211.1
=100  \\$a20100526abely50\\\\\\ca0
=152  \\$bDVNLB
=250  \\$aПЛАЗМАХІМІЧНАЕ АСАДЖЭННЕ
=450  \\$8beleng$7ca0yba0y$aPECVD$5d
=450  \\$8beleng$7ca0yba0y$aplasma-enhanced chemical vapor deposition
=450  \\$aасаджэнне з паравой фазы, стымуляванае плазмай
=450  \\$aплазмахімічнае асаджэнне з газавай фазы
=450  \\$aплазмахімічнае газафазнае асаджэнне
=450  \\$aплазменна-хімічнае асаджэнне з газавай фазы
=550  \\$5w$3BY-NLB-ar1607655$aПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
=686  \\$2rugasnti$a31
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20100526
=856  4\$uСайт "Российская корпорация нанотехнологий / Нотехнологический словарь РОСНАНО."
=856  4\$uhttp://www.rusnanonet.ru/equipment/index.php?by=pop&cat=pec$zПортал российской национальной нанотехнологической сети.
=856  4\$uhttp://www.plasmasystem.ru/technology/pecvd
=999  \\$f1218$t20100526