История поисков

=LDR  00000cx\\j22001933\\45\\
=001  BY-NLB-ar14094361
=005  20211111153925.4
=100  \\$a20211022arusy50\\\\\\ca0
=152  \\$bDVNLB
=250  \\$aВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ
=300  1\$aМетод нанесения пленочных покрытий в вакууме направленным осаждением частиц из потока испаряемого или распылямого вещества.
=550  \\$5w$3BY-NLB-ar14094363$aВАКУУМНА-ПЛАЗМЕННАЕ АСАДЖЭННЕ
=686  \\$2rugasnti$a55
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20211022
=810  \\$aВакуумная напылительная техника / Ю. А. Мелехин // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 48—49.
=999  \\$f371 NLB-NDARD$t20211022
=999  \\$i371 NLB-NDARD$t20211022$9c
=999  \\$h2088 NLB-NDARD$t20211111