![]() | История поисков |
Базовый | Расширенный | Номера/Индексы | Булевский | По словарям |
---|
Запись в MARC-формате
копировать MARC-запись |
=LDR 00000cx\\a2200217\\\45\\
=001 BY-CNB-a644218
=005 20180302150055.0
=100 \\$a20091113arusy50\\\\\\ca0
=101 \\$arus
=102 \\$aRU
=120 \\$aba
=152 \\$apsbo
=106 \\$a0
=200 \1$aМочалов$bА. И.$gАлексей Иванович$cкандидат технических наук$fрод. 1939
=340 \\$aРоссийский ученый. Кандидат технических наук. Профессор кафедры материалов и процессов твердотельной электроники Московского института электронной техники (МИЭТ).
=340 \\$aСфера научных интересов: технология, свойства и применение тонких пленок, плазменные технологии, водородная энергетика, системы металлизации интегральных схем. Автор научных публикаций, изобретений и патентов.
=801 \2$aBY$bBY-HM0005$c20160614
=801 \0$aBY$bSEK$c20091113
=810 \\$aПроцессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под редакцией, [предисловие] С. П. Тимошенкова. — Москва, 2015.$bИнформация об авторе: 4 страница обложки.
=856 4\$uhttps://mapofscience.ru/scientist/984219$zСайт "Карта российской науки".
=999 \\$g03163 cnb-okv$t20160614
Чтобы вернуться назад, щелкните кнопку BACK на Вашем браузере
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024 © Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси |